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面向双焦点超透镜制备的多像素干涉光刻研究.pdf

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    中文摘要I

    AbstractII

    第一章绪论1

    1.1超表面1

    1.1.1三种基本相位1

    1.1.2多焦点超透镜研究进展5

    1.2变参量微纳结构的制备技术8

    1.3论文的创新点与主要研究内容13

    第二章基于几何相位原理的双焦点超透镜设计15

    2.1基于几何相位的超透镜设计方法15

    2.1.1

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