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硅微陀螺智能标定与性能优化技术研究.pdf

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    硅微陀螺智能标定与性能优化技术研究摘要

    硅微陀螺智能标定与性能优化技术研究

    摘要

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    加工工艺的快速发展，MEMS陀螺的测量精度不断提高，成本、体积也不断减小，

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