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微细孔加工近几年来,超声波加工已向微细加工领域扩展,日本东京大学工业科学学院采用超声波加工方法,加工出了玻璃上直径9μm的微孔微小透平腔微细超声波加工技术二、切割加工图7-15超声波切割加工对于难以用普通加工方法切割的脆硬材料如陶瓷、石英、硅、宝石等用超声波加工具有切片薄、切口窄、精度高、生产率高、经济性好等优点。单晶硅片切割方法原理:基于清洗液在超声波作用下产生空化效应的结果。空化效应产生的强烈冲击液直接作用到被清洗的部位,使污物遭到破坏,并从被清洗表面脱落下来。应用:主要用于几何形状复杂、清洗质量要求高而用其它方法清洗效果差的中小精密零件,特别是工件上的深小孔、微孔、弯孔、盲孔、沟槽、窄缝等部位的精清洗,生产率和净化率都很高。目前在半导体和集成电路元件、仪器仪表零件、电真空器件、光学零件、医疗器械等的清洗中应用。三、超声波清洗图2-18超声波清洗装置超声清洗(1)超声清洗(2)超声清洗(3)超声清洗(4)原理:利用超声振动作用去除工件表面的氧化膜,使工件露出本体表面,使两个被焊工件表面在高速振动撞击下摩擦发热并亲和粘在一起。应用:用于焊接尼龙、塑料及表面易生成氧化膜的铝制品,还可以在陶瓷等非金属表面挂锡、挂银,从而改善这些材料的可焊性;焊接一般很难焊接的稀有金属,如钛、钼等。四、超声波焊接超声波塑料焊接机五、超声波去应力焊接母材焊缝焊接母材超声波处理线六、复合加工采用超声波加工硬质合金、耐热合金等硬质金属材料时加工速度低,工具损耗大,为了提高加工速度和降低工具损耗,采用超声波、电解加工或电火花加工相结合来加工喷油嘴、喷丝板上的孔或窄缝,这样可大大提高生产率和质量。(1)超声电解复合加工辅以超声振动的复合电解加工。用于难加工材料的表面光整及深小孔加工。二、超声加工的基本原理超声波加工的基本原理超声波加工是利用超声波作动力,推动磨料以极高的速度冲击工件表面,工件材料在磨料打击下被破坏、脱落。?超声波加工56.flv超声波加工的基本原理二、超声加工的基本原理适合加工各种硬脆材料,特别是不导电的非金属材料,例如玻璃、陶瓷、石英、宝石、金刚石等。01工具可用较软的材料做较复杂的形状。工具与工件相对运动简单,使机床结构简单。切削力小、切削热少,不会引起变形及烧伤,加工精度与表面质量也较好。超声波加工的面积较小,工具头磨损较大,因此,生产率低。02030405三、超声波加工的特点超声波加工设备又称超声波加工装置,尽管不同功率大小、不同公司生产的超声波加工设备在结构形式上各不相同,但其组成部分基本相同。010102超声波加工装置一般都由超声发生器、超声振动系统(声学部件)、机床本体和磨料工作液循环系统等部分组成。022.2超声波加工设备一、超声波发生器作用:将工频交流电转变为具有一定功率输出的超声频电振荡。要求:输出的功率和频率在一定范围内连续可调。图7-3超声发生器的组成方图超声波发生器与换能器变幅杆工具二、超声波换能器换能器作用:将超声频电振荡信号转换为超声频机械振动。分类:压电式换能器(利用压电效应制成)磁致伸缩式换能器(利用磁致伸缩效应制成)1.压电效应石英晶体、钛酸钡(BaTiO3)陶瓷、锆钛酸铅(ZrPbTiO3)压电陶瓷等物质受外力变形时,在界面上产生电势;或者相反的情况。2.磁致伸缩效应铁、钴、镍及其合金的长度能随其所处的磁场强度的变化而伸缩的现象。较压电式换能器有较高的机械强度和输出功率。磁致伸缩三、超声波变幅杆作用:将换能器获得的超声振动振幅加以扩大,以达到加工所需的振幅。分类:锥形--扩大比较小(5-10倍),易制造。指数形--扩大比中等(10~20倍),难制造。阶梯形--扩大比大(20倍以上),易制造。通过变幅杆任一截面的振动能量不变(传播损耗不记);截面越小,能量密度越大,振动振幅也就越大;能量密度与振幅的平方成正比。扩大振幅的原因作用:推动磨料和悬浮液冲击工件表面,加工出形状和尺寸。形状和尺寸:取决于被加工表面的形状和尺寸,它们相差一个“加工间隙”。材料:45钢、碳素工具钢--一般硬脆材料;硬质合金、淬火钢--加工精度高;金刚石镀覆--特殊要求。四、超声波加工工具工具五、机床1-工作台;012-工具;023-变幅杆;034-换能器;045-标尺;056-导轨;067-支架;078-平衡重锤08超声波加工机床USM.avi(3)
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