表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析 编制说明.pdf

《表面化学分析深度剖析中能离子散射术对硅基底上纳米尺度

重金属氧化物薄膜的无损深度剖析》

编制说明（征求意见稿）

一、工作简况

1.1任务来源

国家标准化管理委员会下达的2024年3月25日推荐性国家标准计划项目《表面化

学分析深度剖析中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度

剖析》，项目编号T-469。

1.2制定背景及起草人分工情况

X射线光电子能谱（XPS）是一种广泛应用于材料表面组成测量的技术。在许多应

用中，它被用来确认某种元素在表面的存在与否。XPS用于材料表面低浓度元素含量

的常规测量，当没有检测到元素时，对检测限的了解使分析人员能提供可信的陈述，

因此检测限的测量至关重要。检测限及其影响因素的研究可以提供结果的置信区间，

或改变测量条件以达到需要的检测限。如果需要一个特定的检测限，它允许分析人员

计算达到指定检测限所需的采集时间。因此，理解在特定测量条件下某元素能检测到

的最小浓度很重要。自20世纪80年代初发明以来，中等能量离子散射术（MEIS）一

直被认为是一种具有单原子深度分辨的表面和界面组成定量分析方法。MEIS已广泛用

于超薄膜，特别是纳米栅极氧化物分析，以确定其成分、厚度和界面。最近，MEIS被

用于纳米颗粒分析，以确定具有核壳结构样品的尺寸和组成。

本标准起草单位为中石化石油化工科学研究院有限公司，季华实验室，中国计量

科学研究院、河北工程大学和国家纳米科学中心。中石化石油化工科学研究院有限公

司（以下简称石科院）是中国石化直属的综合性科学技术研究开发机构，创建于1956

年，在国际上拥有较高的知名度和影响力。研发领域以石油炼制技术开发为主，注重

油化结合，并向新型替代燃料和新能源领域延伸。石科院电子能谱实验室科研人员长

年从事催化材料表面分析方面的研究，开展相关领域的标准化工作，迄今已主持或参

与多项国家标准的制定与审查工作，在表面化学分析与标准化方面积累了较丰富的经

验。

在接到下达的国家标准制定计划后，石科院组织成立了由多个单位的多名技术人

员共同组成的标准起草工作组，工作组各成员的职责分工如下：

1）邱丽美：全面负责本标准相关工作，包括标准的翻译、起草、修改、技术把关、

格式把关和组织协调。

2）范燕：标准文本正文的修改与完善；

3）王海：标准文本正文的修改与完善，验证实验讨论；

4）侯俊先：标准附录A的修改与完善；

5）武春霞：标准附录B的修改与完善；

6）忻睦迪：标准附录C的修改与完善；

7）徐鹏：标准附录D的修改与完善。

1.3主要工作过程

1.3.1起草阶段

2023年3月，标准起草工作组成员根据国家标准GB/T1.1-2020《标准化工作导则

第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2

部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》，等同采用ISO23170:2022

《Surfacechemicalanalysis–Depthprofiling–Non-destructiveprofilingofnanoscale

heavymetaloxidethinfilmsonSisubstrateswithmediumenergyionscattering》，完成了翻

译初稿，形成了标准草案。

1.3.2开展阶段

2023年年会通过了全国微束分析标准化技术委员会表面分析分技术委员会组织的

标准立项评审。2024年3月25日，国标委下达标准计划，项目号T-469。

2024年6月至12月，标准起草工作组针对标准草案进行了多次技术讨论，对标准

进行了完善，形成了国家标准文本征求意见稿。

二、国家标准编制原则、主要内容（如技术指标、参数、公式、性能要求、试验方法、

检验规则等）及其确定依据（包括试验、统计数据），修订国家标准时，还包括修

订前后技术内容的对比

2.1标准制订的原则

本标准等同采用国际标准ISO23170:2022《Surfacechemicalanalysis–Depth

profiling–Non-destructiveprofilingofnanoscaleheavy