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安全管理
安全管理
半导体行业化学品全周期过程安全管理的探讨
1221
雷雄，仙靓，张维，田潇
(1.合肥欧益睿芯科技有限公司西安分公司，陕西西安710061；
2.三星(中国)半导体有限公司，陕西西安710061)
摘要：半导体行业使用的化学品种类较多，大多属于有毒有害、易燃易爆的化学品，因此对化学品的安全管理要求也比
较高。文章首先对半导体行业中化学品存在的安全隐患进行分析，提出了从化学品的采购、运输、储存、使用、废弃处置、
应急处置等全周期过程来进行管理的相应对策，通过全周期的过程管理以降低安全事故的发生。
关键词：过程管理；全周期；化学品；半导体行业
中图分类号：X931 文献标志码：A文章编号：1008-4800(2024)14-0079-03
DOI:10.19900/ki.ISSN1008-4800.2024.14.020
DiscussiononChemicalWholeCycleProcessSafetyManagementin
SemiconductorIndustry
1221
LEIXiong,XIANLiang,ZHANGWei,TIANXiao
(1.HefeiEurocoreTechnologyCo.,Ltd.Xi’anBranch,Xi’an710061,China;
2.Samsung(China)SemiconductorCo.,Ltd.,Xi’an710061,China)
Abstract:Therearemanytypesofchemicalsusedinthesemiconductorindustry,mostofwhicharetoxicandharmful,flammable
andexplosivechemicals,sothesafetymanagementrequirementsforchemicalsarealsorelativelyhigh.Thispaperf irstanalyzesthe
hiddensafetyrisksofchemicalsinthesemiconductorindustry,andputsforwardcorrespondingcountermeasuresformanagement
fromthewhole-cycleprocessofchemicalprocurement,transportation,storage,use,wastedisposal,emergencydisposal,etc.,and
reducestheoccurrenceofsafetyaccidentsthroughwhole-cycleprocessmanagement.
Keywords:processmanagement;fullcycle;chemicals;semiconductorindustry
0引言1半导体企业工艺特性及存在的安全隐患
半导体是一种在常温状态下导电能力优于绝缘1.1半导体企业生产工艺特性
体但不如导体的物质，因其特殊的性能，可制造出不
半导体工艺主要分为两个大部分，分别为前端工
同用途的半导体器件，也是集成电路元器件加工所必
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