现代材料分析方法.ppt

*（2）线扫描分析：聚焦电子束在试样沿一直线慢扫描，同时检测某一指定特征x射线的瞬时I，得到特征x射线I沿试样扫描线的分布。（元素的浓度分布）对于测定元素在材料相界和晶界上的富集与贫化是十分有效的。第62页，共102页，星期日，2025年，2月5日*线扫描分析第63页，共102页，星期日，2025年，2月5日*（3）面扫描分析电子束在试样表面进行面扫描，谱仪只检测某一元素的特征x射线位置，得到由许多亮点组成的图像。亮点为元素的所在处，根据亮点的疏密程度可确定元素在试样表面的分布情况。第64页，共102页，星期日，2025年，2月5日*面扫描分析亮区代表元素含量高，灰区代表元素含量较低，黑色区域代表元素含量很低或不存在。第65页，共102页，星期日，2025年，2月5日*第66页，共102页，星期日，2025年，2月5日第8章透射电子显微镜Transmissionelectronmicroscope第67页，共102页，星期日，2025年，2月5日*引言TEM用聚焦电子束作照明源，使用对电子束透明的薄膜试样，以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。电子光学应用的最典型例子是TEM，它是观察和分析材料的形貌、组织和结构的有效工具。第68页，共102页，星期日，2025年，2月5日*PhilipsCM12透射电镜加速电压20、40、60、80、100、120KV

LaB6或W灯丝

晶格分辨率2.04?

点分辨率3.4?

最小电子束直径约2nm；

倾转角度α=±20度

???????β=±25度CEISS902电镜加速电压50、80KV

W灯丝

顶插式样品台

能量分辨率1.5ev

倾转角度α=±60度第69页，共102页，星期日，2025年，2月5日*加速电压200KV

LaB6灯丝

点分辨率1.94?JEM-2010透射电镜加速电压20、40、60、80、100、120KV

晶格分辨率2.04?

点分辨率3.4?

最小电子束直径约2nm

倾转角度α=±60度

???????β=±30度EM420透射电子显微镜第70页，共102页，星期日，2025年，2月5日*分辨率：0.34nm加速电压：75－200KV放大倍数：25万倍日立H－700投射电镜第71页，共102页，星期日，2025年，2月5日*8.1透射电子显微镜的结构透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。第72页，共102页，星期日，2025年，2月5日*二次电子形貌衬度示意图第30页，共102页，星期日，2025年，2月5日*扫描电镜应用SEM广泛应用于水泥、陶瓷、金属、复合材料研究中，主要有以下几方面：(1)断口分析直接观察。低、高倍观察分析，显示断口形貌特征，揭示断裂机理；(2)显微组织观察分析组成相的形成机理和三维立体形态特征。第31页，共102页，星期日，2025年，2月5日扫描电镜结果分析示例β—Al2O3试样高体积密度与低体积密度的形貌像2200×抛光面第32页，共102页，星期日，2025年，2月5日*断口分析典型的功能陶瓷沿晶断口的二次电子像，断裂均沿晶界发生，有晶粒拔出现象，晶粒表面光滑，还可以看到明显的晶界相。第33页，共102页，星期日，2025年，2月5日*粉体形貌观察α—Al203团聚体(a)和团聚体内部的一次粒子结构形态(b)(a)300×(b)6000×第34页，共102页，星期日，2025年，2月5日*钛酸铋钠粉体的六面体形貌第35页，共102页，星期日，2025年，2月5日*多孔SiC陶瓷的二次电子像第36页，共102页，星期日，2025年，2月5日*氟-羟磷灰石由六方柱为主组成的完好晶形，晶体端面上可见熔蚀坑第37页，共102页，星期日，2025年，2月5日*第38页，共102页，星期日，2025年，2月5日第7章电子探针x射线显微分析第39页，共102页，星期日，2025年，2月5日*电子探针仪（EPMA）是一种微区成分分析仪器。采用被聚焦成小于1μm的高速电子束轰击样品表面，利用电子束与样品相互作用激发出的特征x射线，测量其波长λ和强度Ι，确定微区的定性、定量的化学成分。SEM-EPMA组合型仪器，具有扫描放大成像和微区成分分析两方面功能。第40页