探究磁场对射频感性耦合等离子体均匀性的多维影响与机制.docx

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2025-03-04 发布于上海
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探究磁场对射频感性耦合等离子体均匀性的多维影响与机制

一、引言

1.1研究背景与意义

等离子体作为物质的第四态，由大量带电粒子和中性粒子组成，具有独特的物理化学性质，在材料科学、能源、环境、医疗等众多领域展现出了广泛的应用潜力。射频感性耦合等离子体（Radio-FrequencyInductivelyCoupledPlasma，RF-ICP）作为一种常见的等离子体产生方式，通过射频电源激发感应线圈产生交变磁场，进而在等离子体区域感应出环形电流，实现气体的电离和等离子体的维持。由于其能够在较低气压下产生高密度、大面积的等离子体，且装置结构相对简单、成本较低，在半导体芯片制造、薄