TXAI-覆晶薄膜基板掩膜版图纸设计规范.pdfVIP

ICS03.080.01

CCSA01

团体标准

T/XAI2023—XX

覆晶薄膜基板掩膜版图纸设计规范

ThespecificationformaskdrawingdesignofCOFtape

（征求意见稿）

20230612

（本草案完成时间：年月日）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

徐州市发明协会发布

T/XAI2023—XX

徐州市发明协会（XAI）是组织开展标准化活动的社会团体。制定徐州市发明协会标准（以下简称：

徐发协标准），为满足市场需要，推动团体标准化工作，是徐州市发明协会的工作内容之一。中国境内

的团体和个人，均可提出制、修订徐发协标准的建议并参与有关工作。

徐发协（XAI）标准按《徐州市发明协会团体标准管理办法》进行制定和管理。

徐发协（XAI）标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的75%以上的专家、成员的同

意，方可作为徐发协（XAI）标准予以发布。

在本文件实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给徐州市发明协会，以

便修订时参考。

本文件著作权（版权）及后续改进的著作权（版权）均归徐州市发明协会所有，除了用于国家法律或事先得到徐州

市发明协会的许可外，不得以任何形式或任何手段复制、再版或使用本文件及其章节，包括电子版、影印件，或发布在

互联网及内部网络等。

徐州市发明协会地址：江苏省徐州市泉山区欣欣路1号澳东印象城酒店B座308室

邮政编码：221008电话：0516传真：0516

网址：电子邮箱：734467900@QQ群：184295696

I

T/XAI2023—XX

目次

前言III

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4设计要求1

4.1图纸构成1

4.2曝光对位2

4.3偏位检查4

4.4图纸涨缩4

4.5刻印文字5

5证实方法6

5.1图纸构成6

5.2曝光对位6

5.3偏位检查6

5.4图纸涨缩6

5.5刻印文字6

II

T/XAI2023—XX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件中的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件的著作权（版权）及后续改进的著作权（版权）均归徐州市发明协会所有。

本文件由江苏上达半导体有限公司、北京集创北方有限公司、武汉大学、江苏华商企业管理咨询服务有

限公司提出。

本文件由徐州市发明协会归口。

本文件起草单位：江苏上达半导体有限公司、北京集创北方有限公司、武汉大学、江苏华商企业管理咨

询服务有限公司。

本文件主要起草人：韩少华、陆文、王健、孙彬、刘明寒、戚胜利、孙飞、叶斌、黄梦晴、王康、