超净车间各岗位操作标准课件.pdfVIP

超净车间各岗位操作标准

编制人/日期：

/：

审核人日期

批准人/日期：

1目的

明确超净车间操作人员的作业标准，确保清洗扩工艺的稳定进行。

2范围

本标准合用于超净车间的所有工作人员，合用于清洗、扩工艺过程。

3相关文件

4定义

5职责

为了使超净车间各JL序操作能移按照标准化进行，明确规定了超净车间各岗的工艺操作权限。

5.1普通员工

无权对任何工艺参数进行修改与调整。

5.2操作员

5.2.1在工艺工程师授权的情况下才干对设备的工艺参教进行调整，在未经工艺工程师授

权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。

5.2.2协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，并填写司炉点检表。当发现工

艺参数发生变化或者机台报警时应及时通知班组长，由班组长通知工艺值班工程师.

或者主操作直接通知工艺值班工程师。

5.2.3浮现任何异常，请详细记录于异常记录单，并及时通知班组长，根据异常情况通知

工艺或者设备工程师。

5.2.4司炉人员不可更改逃出舟速度，一律采用正常工艺中的舟速。

5.3班组长

5.3.1班组长应该严格要求本组员JL按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反

工艺规定现象浮现。

5.3.2当工艺工程师不在现场，且扩后硅片的方块电阻浮现异常时，生产班组长可以对

扩炉管源流量之行调节，并在工艺更改记录单上详细记录更改内容如（小记录，

将视为误操作）。其他非工艺人员不可以对工艺进行更改。当对源流量进行微调无效

时，班组长应该通知工艺工程师进行处理。

5.3.3班组长应该积极的配合工艺工程师完成各项实验。

5.3.4协助工艺工程师对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改

时应及时通知工艺工程师，并由工艺工程师进行确认处理。

535实验单由班组长负方,监督本组员工如实、认直填写。

5.3.6任何部门借用机台，均需工艺、设备和生产部门确认后方可借用。交回后需由各相

关部门确认后方可恢复生产。

5.4工艺工程师

5.4.1保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的追续，当工艺浮现重大波动且影响

到生产时，应该及时采取相应的解决措施。

5.4.1.1工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行：

5.4.1.2当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与生产主管及工艺部主管讨论确

认方案的可行性，然后有条理的进行实验；

5.4.1.3工艺工程师的实验在没有成熟时不得进行批生产。

5.4.2在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数；

5.4.3巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应

处理：

5.4.4可以根据工艺需要对手•工清洗处的溶液浓度暂时进行相应的微调，加大或者减小清洗

液的浓度；

5.4.5可以根据工艺需要对手工清洗时间进行相应调整；

5.4.6可以根据需要对扩赦炉的工艺参数进行相应调整：并在工艺更改记录单上详细记录

更改内容和更改效果。