基于激光散斑灰度光刻的高灵敏柔性电容式压力传感技术研究.pdf

摘要

压力是人类世界之间最常见的交互形式之一。近年来，基于压力传感器的柔性电

子设备发展迅速，在电子皮肤、机器人、人工智能和医疗监测等诸多前沿的信息领域

已展现出不俗的应用前景。通常，限制压力传感器发挥实用价值的一大技术问题是灵

敏度较低，而经大量研究验证，在传感器的传感层中引入微结构，能有效提高传感器

的灵敏度。为了让传感器具备高的灵敏度，同时保持短的响应时间和低的检测下限满

足实际应用，受颗粒状激光散斑图案的启发，本文进行了以下研究工作：

1.激光散斑灰度曝光系统的设计。详细推导了激光散斑强度的自相关函数，结

合MATLAB和Mathematica软件模拟出激光散斑强度的空间分布呈现波浪形，为激

光散斑灰度光刻提供了理论支撑。在此基础上，本文设计并搭建了具有可调曝光剂量

与散斑尺寸特点的激光散斑曝光系统。

2.基于激光散斑灰度光刻的随机锥状阵列微结构制备。探究了激光散斑灰度光

刻的要素，选择了低对比度正性光刻胶SPR220-7,并调控曝光剂量依次为100mJ/cm2

（欠曝光）、300mJ/cm2（正常曝光）和600mJ/cm2（过曝光）对其进行曝光。在过

曝光下，显影后的光刻胶上呈现出随机锥状阵列微结构。进一步的，调控一维散斑尺

寸依次为σ1=2.5μm、σ2=5μm、σ3=7.5μm、σ4=10μm、σ5=12.5μm和σ6=15

μm，使这种微结构呈现出不同的精细与密集程度。

3.柔性电容式压力传感器的制备、测试及应用。通过COMSOL软件确定了传感

层的设计思路，进行实验利用两步转移法将光刻胶上的微结构转移到了柔性衬底聚

二甲基硅氧烷（Polydimethylsiloxane,PDMS）上，通过溅射金膜的方法，制备了PDMS

微结构电极，并与聚偏氟乙烯介电薄膜组合，制备了柔性电容式压力传感器。性能测

试结果显示，传感器展现了超高的灵敏度为19.76kPa-1，响应时间为131ms，检测下

限为1.9Pa，具有出色一致性和稳定性，同时对外部环境和机械形变具有相应的响应。

在实际应用中，传感器已经实现了人体动作信号监测，以及触觉层面的交互。

本文设计了一个激光散斑曝光系统，提出了一种基于激光散斑灰度光刻制备随

机锥状阵列微结构的方法。该微结构应用在柔性电容式压力传感器中。制备的传感器

展现了超高的灵敏度，且被证明擅长捕捉人体动作信号和触觉反馈。

关键词：激光散斑；灰度光刻；随机锥状阵列；微结构电极；柔性电容式压力传感器

I

目录

摘要I

ABSTRACTII

1绪论1

1.1研究背景及意义1

1.2微结构提高电容式压力传感器灵敏度的机理4

1.3常见的锥状微结构制备方法及存在的问题7

1.4论文研究内容8

1.5本章小结10

2激光散斑灰度曝光系统的设计11

2.1散斑颗粒灰度光强分布理论11

2.2灰度曝光系统的设计14

2.3本章小结18

3基于激光散斑灰度光刻的随机锥状阵列微结构制备19

3.1激光散斑灰度光刻的要素19

3.2随机锥状阵列微结构的制备22

3.2.1实验试剂、仪器与表征设备22

3.2.2光刻胶SPR220-7模具的制备23

3.2.3随机锥状阵列微结构的工艺流程25

3.3本章小结28

4柔性电容式压力传感器的制备、测试及应用29

4.1传感层的设计29

4.2传感器的制备31

4.2.1实验试剂、仪器与表征设备31

4.2.2PDMS微结构电极的制备32

4.2.3PVDF介电层的制备35

4.2.4传感器的封装36