真空系统的设计计算.pptVIP

主泵出口QMAX、PMAXSe2≥QMAX/PMAX机械泵入口抽速S2Sp≥(1.5-3)S2在选择机械泵名义抽速时，系数的选取根据主泵的种类和前级泵的级数来确定。前级为单级泵取大值，双级时可取小值；主泵时扩散泵时取大值，油增压泵时可取小值。主泵出口有效抽速Se2S2≥(1.11-1.25)Se2前级管道流导C机械泵名义抽速Sp12345当选用油蒸气流泵作为主泵时,配前级泵的方法也可以按经验标准所推荐的前级泵的大小来确定,见表4。主泵为分子泵时的配泵计算：01分子泵作为主泵时,其抽气能力与前级泵的抽气能力密切关系。分子泵的前级侧需要保持分子流状态,它才能稳定工作。为了保证分子泵前级侧处于分子流状态,通常按下式选取前级泵的抽速02式中S1－分子泵的抽速,m3/s;03S2－前级泵的抽速,m3/s。04罗茨泵作为主泵罗茨泵作为主泵时,通常可用油封机械泵或水环泵作为罗茨泵的前级泵,前级泵的抽速可根据经验公式选取。式中S1－罗茨泵的抽速;S2－油封机械泵作为前级泵的抽速;Ss－水环泵作前级泵的抽速。2.2.1主泵只需预真空环境的预抽泵计算以上介绍的几种泵一般都要求预真空环境才能启动，一般扩散泵预备真空为6.7Pa,油增压泵为13Pa,罗茨泵为1330Pa,分子泵为1.3×10-1Pa，所以，需要配置预真空泵。有些泵如钛泵和低温泵不需要前级泵，但需要预真空泵先抽到预备真空才能工作，如钛泵的预备真空度为1.33×10-2-6.7×10-1Pa，低温泵为1.33Pa。所以，需要进行预抽泵的计算。--预抽泵对真空室出口的有效抽速；--真空室的容积；--抽空到预备真空度所要求的时间；--抽气开始时真空室内的压强；--所要求达到的预备真空度；--真空室极限压强。01此外，还要考虑预抽管道流导的影响来配置预抽泵；对于前级泵兼做预抽泵的情况应同时满足前级泵和预抽泵的要求。02预抽泵的计算主要是考虑所要求预真空的抽气时间和预备真空度。在前级泵停止工作时，排除主泵内气体，保证主泵出口处压力在许可范围内。储气罐:储气罐不能作得很大,它只能用在以扩散泵为主泵的小型系统上。或是某些较小应用设备上,在其工艺过程中不允许有振动,即在工艺进行时必须停止前级泵的工作。而维持泵可用在大型主泵的系统上。储气罐和维持泵的作用：3储气罐和维持泵储气罐的计算：01用于防振目的的储气罐：02--需要的储气罐容积；03--前级泵需要的停机时间；04--主泵在真空室出口处的有效抽速；05--真空室的工作真空度；06--扩散泵最大排气压强与正常工作出07口压强的差。08用于节能和缩短工作周期的储气罐：01此时进入储气罐的气体来源为扩散泵入口前高真空阀到出口后前级管道阀间的漏气量QL和表面放气量QF。02维持泵的计算：一般维持泵的类型与前级机械泵相同。如果前级泵的抽速为S2，按经验维持泵的抽速S3为：1精确计算的方法是维持泵管道入口的有效抽速应保证高真空阀与前级管道阀间漏气量与放气量被及时抽走，保证蒸气流泵出口压力在许可范围内。24真空系统的典型形式4.1真空系统分类按真空系统工作真空度的高低划分：国标GB3163-82规定：低真空系统：105-102Pa;中真空系统：102-10-1Pa;高真空系统：10-1-10-5Pa;超高真空系统：10-5Pa以下;真空理论工作者推荐划分：粗真空系统：1330Pa以上;低真空系统：1330-0.13Pa;高真空系统：0.13-1.3×10-6Pa;超高真空系统：1.3×10-6-1.3×10-11Pa;极高真空系统：1.3×10-11Pa以下;按真空系统工作的清洁程度可分为有油真空系统(真空室有油蒸气污染的)和无油真空系统(真空室无油蒸气污染的)。按真空系统的结构材料可分为玻璃真空系统(除了机械真空泵以外全由玻璃制成)和金属真空系统。在实际应用中,人们往往把上述不同的分类加以综合,称为“大型动态金属高真空系统”、“无油超高真空系统”、“玻璃高真空系统”等等。4.2典型的真空系统形式粗真空系统:用水蒸