真空系统元件及连接.pptVIP

法兰结构形式超高真空氟橡胶密封法兰双重橡胶密封法兰橡胶的出气和渗漏会影响超高真空的获得，为减小橡胶密封圈的初期或漏气量，通常采用双重橡胶密封法兰来消除这些影响。真空快卸法兰夹紧型真空快卸法兰。适用于低、中、高真空管路，法兰用O形橡胶密封圈密封，其结构如图13-79拧紧型真空快卸法兰。适用于低、中、高真空管路，其公称通径为10~40mm，用O形橡胶圈密封。其结构形式如图13-80卡钳真空法兰、连接采用橡胶密封圈密封，密封可靠，使用方便，适用于低、中、高真空管路。有三种形式：图13-81为卡钳螺丝钉连接；图13-82为卡钳块连接；图13-83为卡钳螺栓连接金属密封法兰，适用于超高真空系统中不锈钢法兰连接，金属密封法兰的链接形式如图13-84所示。金属密封法兰常用的密封材料用铝、铜和金等。金属密封法兰的最高允许烘烤温度为450℃下反复烘烤后，法兰密封处的漏气率不大于10-8Pa*L/a。在金属法兰连接中，其螺栓、螺母及垫圈与法兰装配时，一般应在螺栓和螺母之间加二硫化钼润滑剂。运动导入概述。01运动传导结构是用来向真空室中传递各种运动，以实现真空室中机构的运动，满足所进行的工艺过曾的需要。要求这种运动传导结构既能想真空室中传递运动，又要保证真空密封。02运动传导结构按照动密封方式分类：03真空橡胶密封可动传导；（2）金属波纹管密封可动传导；（3）液态金属密封可动传导；（4）间隙密封传导；（4）间隙密封传导；（5）磁力传动传导；（6）磁流体密封可动传导；（7）橡胶隔膜密封可动传导。04五、运动导入与动密封连接01在选择运动传导密封形式时，应注意下列事项：02从传动密封处漏入真空室中的气体量对工作压力的影响。此气体量值包括密封处漏气量、元件表面放气、高温下薄壁零件（波纹管）的渗漏03在真空室工作温度范围内，传动轴即密封元件能否正常工作；04真空中从动部件的最大速度，位移及密封轴的转速；05使用方便、易更换易损零件，工艺性好，成本低。根据采用的密封物质可分为固体密封和液体密封。01真空橡胶动密封连接02常见的橡胶密封结构形式为J形、JO形、和O形真空用橡胶密封圈形式，气原理是把孔径小于轴颈的密封圈紧套在轴上，并依靠过盈和抽气时产生的压差而紧贴于轴上，达到可靠地密封。03接触式动密封连接J形橡胶圈的密封结构。工作原理是利用安装后中央凸起，并紧箍在旋转轴上呈现锥形的橡胶垫圈，当内部达到真空时，外部大气压力即可把橡胶圈紧紧的压在转轴上而达到真空密封的目的。多用在旋转轴线速度小于2m/s、转速小于2000r/min的真空转轴密封中。O形橡胶圈的密封结构。又称橡胶填料盒式密封装置，该装置不谈能传递圆周速度不大于2m/s的旋转运动，而且还能传递压力值不低于1.3×10-4Pa、速度小于0.2m/s的直线运动，其转轴直径的范围应在3~200mm之间。JO形橡胶圈的密封结构.此带锁紧弹簧的结构是在J形橡胶圈的密封结构的基础上经过费劲而制成的，他的，密封效果更好，使用的转数应小于2000r/min。是油封式机械真空轴的主轴最常采用的一种动密封装置，密封轴径范围通常在6~200mm之间。右图为一实现密封装置本身能自给润滑、可借助于氟塑料进行真空动密封的装置。密封件2是利用能自给润滑的氟塑料材料制成。由于塑料本身弹性较差，易产生较大的残余变形，因此在结构上采用了附加橡胶垫圈3，把3装在密封件2的外面，再用螺母5压紧，就可以保证氟塑料密封圈能与轴均匀而密实的压紧。这种结构的缺点是要求轴的表面粗糙度要小，一般不低于Ra0.4。右图是旋转运动自润滑动密封装置的另一种结构，图中法兰1内装一个聚四氟乙烯轴套2，它既是轴的轴承，又是辅助的密封件。动密封结构的集体3内装有支撑环5，中间环7，聚四氟乙烯垫圈8，衬套9和压紧螺母10.动密封结构的集体3通过橡胶环4进行密封，三个外橡胶垫圈的作用在于补足氟塑料垫圈8的弹性，保证他对轴表面的弹性压缩并对基体3的内表面和中间环7的接合处保持气密性。液态金属动密封连接液体用于真空动密封的结构原理如图所示，图中（a）是采用液体薄膜密封。他利用小间隙中液体薄膜的表面张力和压差的平衡状态来实现的。在轴1处于静止状态时其可靠的密封条件是C、过滤除尘器1工作原理：利用多空的过滤物体使含尘气流在惯性碰撞、拦截、扩散、静电力、和重力等作用下，其中粉尘沉积在多孔表面或容纳与其中2图示为含尘气流流过单个捕集体（圆柱或圆球）时，可能发生的捕集机理。当气流流线绕过捕集体时，其中较大的颗粒由于惯性作用仍然向前做直线运动，而碰撞到捕集体上，称为“惯性碰撞”效应；同时，有些很小的颗粒仍然跟随流线运动，若此时颗粒半径小于流线到捕集体表面的距离，此种颗粒也会被捕集