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国家计量技术规范

激光干涉仪校准规范

编制说明

校准规范起草组

2024年12月

《激光干涉仪校准规范》编制说明

一、规范制定的必要性

激光干涉仪是以激光波长为测量标准，进行位移、直线度、角度等几何量测

量的高精度、多功能计量仪器。现行的JJG739-2005激光干涉仪检定规程自2006

年起施行。随着激光测量技术的发展，激光干涉仪的测量功能和精度指标都发生

了较大的变化。随着激光干涉测量技术的发展，应用激光干涉仪的测量领域越来

越广，干涉仪系统的附件也变多，应用检定规程需要检定全部项目，但在实际使

用中，不同的应用场合可配置不同附件，只需对使用项目进行校准保证溯源性即

可。检定规程对干涉仪的传感器配置仅给了允许范围，但在实际使用时传感器的

示值误差及测量不确定度是干涉仪示值误差的重要影响量；干涉仪的重要应用是

用作大尺寸的长度标准，对于大尺寸的校准方法检定规程不能满足要求。激光干

涉仪更多被用作长度标准仪器，利用检定规程进行溯源已经不能满足使用需求，

因此急需制定激光干涉仪的校准规范，以保证长度量值准确统一。

二、任务来源

根据国家市场监督管理总局计量函【2019】42号《市场监管总局计量司关

于国家计量技术规范制定、修订及宣贯计划有关事项的通知》要求，受全国几何

量长度计量技术委员会的委托，由中国计量科学研究院牵头，中国航空工业集团

公司北京长城计量测试技术研究所、中国测试技术研究院等单位参与共同完成

JJG739-2005《激光干涉仪检定规程》修订任务。

三、规范编制的主要原则及技术依据

1、编制原则

起草小组在制定该规范的过程中，力求按以下原则完成规范的起草工作：

（1）参照国际标准和国家相关法律法规，并尽量与国家标准保持一致，保

证规范的先进性和可行性；

（2）在检测用装置装备的选择上，既要采用先进的仪器设备，性能可靠，

又要考虑经济性、便捷性、实用性；

（3）在检测方法的设计上，在保证精度的基础上，兼顾测量方法的可行性、

经济适用及操作方便等要求。

2、技术依据

规范编制过程中重点参考了以下标准、规程、规范：

JJF1001-2011通用计量术语及定义技术规范。

JJF1094-2002测量仪器特性评定。

JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》

JJF1001-2010《通用计量术语及定义》

JJF1130-2005《几何量测量设备校准中的不确定度评定指南》

GB/T17163-2008《几何量测量器具术语基本术语》

JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》

ISO25178-602Geometricalproductspecifications(GPS)-Surface

texture:Areal-Part602:Nominalcharacteristicsofnon-contact(confocal

chromaticprob)instruments

JJG739-2005《激光干涉仪检定规程》

JB/T5610-2006《激光干涉仪》

JJG998--2005《激光小角度测量仪检定规程》

JJG160-2007《标准铂电阻温度计》

JJG860-2015《压力传感器(静态)检定规程》

JJF1076-2020《数字式温湿度计校准规范》

四、校准规范的起草过程

2019年10月，中国计量科学研究院收到全国几何量长度技术委员会下达的

修订任务后正式组建《激光干涉仪校准规范》起草工作组。牵头单位中国计量科

学研究院在激光干涉仪分析评价方面是国内最权威的计量技术机构，除了日常承

担激光干涉仪的量值溯源与传递任务之外，还负责研制、维护国家长度基准，包

括激光干涉比长仪工作基准装置、26m动态校准仪标准装置、80m室内长度标

准装置、双频激光干涉仪计量标准装置和激光小角度基准装置，并通过了国际互

认测量校准能力（CMC），制定了《JJG739-2005激光干涉仪检定规程》，长期从

事激光干涉仪校准工作，具备丰