电子显微与扫描探针相关技术(5).pptVIP

第四章?????扫描探针显微镜

引言

所谓扫描探针显微镜〔ScanningProbeMicroscopySPM〕是用一锋利的传感器探针在样品外表上方扫描，通过“感触”来检测样品外表性质，并不用物镜来成像，这是与其他显微镜最主要的区别。;扫描探针显微镜是一个显微镜的大家族，其中第一个成员是扫描隧道显微镜(STM)

它是IBM的G.Binning和H.Rohrer博士及其同事于1982年创造的.

受扫描隧道显微镜工作原理的启发，人们又研制出一系列工作原理相类似的显微镜，;例如：

原子力显微镜〔AFM〕

磁力显微镜〔MFM〕

摩擦力显微镜〔LFM〕

化学力显微镜〔CFM〕

静电力显微镜〔EFM〕

我们主要介绍STM与AFM;1.??扫描隧道显微镜

扫描隧道显微镜STM〔ScanningTunnelingMicroscopy〕

是IBM苏黎世实验室的G.Binning和H.Rohrer博士及其同事创造的。

STM的研制工作始于1978年;1982年在CaIrSn4单晶上获得第一张单原子台阶像

1983年获得第一张Si〔111〕—7×7外表重构像，从而宣告了具有原子级空间分辨能力的新一代显微镜的诞生。;1986年诺贝尔物理学奖获;

STM实验可以在大气、真空、溶液、惰性气体甚至反响性气体等各种环境中进行.

工作温度可以从绝对零度到摄氏几百度。;用途广泛：

〔1〕可用于原子级空间分辨率的外表结构观测，用于研究各种外表化学过程和生物体系

〔2〕是纳米结构加工的有力工具，可用于制备纳米尺度的超微结构，还可用于操纵原子和分子等;1.1扫描隧道显微镜(STM)的工作原理及工作模式

工作原理：当探针与样品外表间距小到纳米量级﹙﹤1nm﹚时

经典力学认为，由于中间的空气将探针与样品外表隔开，探针与样品外表是不导电的；

但从量子力学的观点来看，探针尖端的原子与样品外表的原子具有波动性，两者的波函数会发生重叠，;因此探针与外表之间会产生电流，该电流称隧道电流〔见图26.1〕;隧道电流的强度与针尖和样品间距S成指数关系，对间距S的变化非常敏感，STM就是利用这一原理来工作的。

它的工作模式有两种：

恒高模式

恒流模式

;①恒流模式：

探针在样品外表扫描时，通过反响回路控制??道电流恒定不变，即探针与样品外表相对距离保持恒定，这时探针沿xy平面内扫描时在z轴方向的运动就反映了样品外表的上下起伏，这种扫描模式叫恒流模式。

见图2.2〔a〕;;②恒高模式：

探针在样品外表扫描时，使探针的绝对高度不变，这时探针与样品外表的相对距离就会改变，即隧道电流会改变，通过测量电流的变化来反映样品外表的上下起伏。这种扫描模式叫恒高模式。

〔见图2.2〔b〕;恒电流模式是STM常用的工作模式，而恒高模式仅适用于对起伏不大的外表进行成像。

当样品外表起伏较大时，由于针尖离外表非常近，采用恒高模式扫描可能造成针尖与样品外表相撞，导致针尖与样品外表破坏。;1.2扫描隧道显微镜的装置

STM是一种近场成像仪器,针尖与样品之间的距离S通常小于1nm.

自从STM诞生以来,目前商品化的STM已采用了各种先进技术和多项改进系统.已成为一种先进的形貌观测仪器被广泛应用.但根本组成没有变化.;STM由以下几局部组成:

①振动隔绝系统

②机械传感系统

③电子控制系统

④探头(隧道针尖)

⑤计算机控制系统

STM的根本结构如下图.;;核心部件:探头,安装于STM主体箱内

电子控制系统:用于产生隧道电流并维

持其恒定,控制针尖扫描.

计算机系统:控制各个系统运动、收集、存

贮、处理获得信息和图像。

振动隔绝系统：保证系统工作不受外界振

动等干扰。;1.2.1振动隔离系统

由于STM工作时针尖与样品距离小于1nm,任何振动包括声波振动都会影响仪器稳定性,因此由振动引起的隧道间距变化必须小于0.001nm。

STM常用的振动隔离方法有三种：

①悬挂弹簧

②平板-弹性体堆垛系统

③冲气平台;〔1)悬挂弹簧：具有涡流阻尼的悬挂弹簧系统﹝见图2.5﹙a﹚﹞;悬挂弹簧是最为有效的振动隔离系统。如果STM单元有足够的刚性单级悬簧即可。

如果STM单元的刚性不够，或