T BEA 43004—2023 飞安（fA）级电容式微电流表校准规范.pdfVIP

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中国团体标准

T/EBA43004－2023

飞安（fA）级电容式微电流表校准规范

CalibrationSpecificationoffALevelCapacitanceLowCurrent

Meter

2023－05－09发布2023－06－01实施

北京电子仪器行业协会发布

飞安（fA）级电容式微电流表校准规范

1范围

1.1主题内容

本规范规定了飞安（fA）级电容式微电流表的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准

结果的处理。

1.2适用范围

本规范适用于量程范围在10fA～1pA，分辨力≥1fA，采用电容-电压法原理的电容式微电流表的校

准。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的

修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

JJF1023—1991常用电学计量名词术语

JJF1071-2010国家计量校准规范编写规则

JJF1001-2011通用计量术语及定义

JJF1059.1-2012测量不确定度评定与表示

3术语定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4概述

4.1用途

飞安（fA）级电容式微电流表（以下简称被校表）是辐射量、高值电阻、真空度等传感器输出微

弱电流信号一种仪器，电流测量分辨力达到fA量级。

4.2原理及结构

根据前置信号调理器的工作原理不同，电容式微电流表可分为电容采样式和电容反馈式。原理如下：

a)电容采样式直流微电流表：如图1所示，由采样低值电容器、静电放大器和直流电压斜率测量

等部分组成。

GUARD

H静电放大电压斜率测Dx

IxS1器k量单元kAD

VV

CnxAD

L

图1电容采样式直流微电流表原理框图

被测微电流I经过采样低值电容C转变成线变电压V：

xnx

=x×（1）

x

n

该电压经过静电放大器放大后输出直流电压:

=x××（2）

AD

n

电压斜率测量部分根据采样低值电容器的电容值C、静电放大器放大倍数k、电压斜率测量系数

n

kAD、电压斜率测量结果DX，通过计算给出被测微电流值：