- 1、本文档共26页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
、
ICS77.150.99
CCSH62YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/TXXX-XXXX
氧化铟镓锌(IGZO)靶材
Indiumgalliumzincoxide(IGZO)target
(送审稿)
××××-××-××发布××××-××-××实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/T××××—××××
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。Deleted:一
请注意本文件的有些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本文件起草单位:芜湖映日科技股份有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、先导薄膜材料(广
东)有限公司、广西晶联光电材料有限责任公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、株洲火炬安泰
新材料有限公司、上海大学、广东欧莱高新材料股份有限公司
本文件主要起草人:曾墩风、王志强、葛春桥、余芳、黄誓成、李庆丰、蒋少英、李喜峰、李鹏。
1
YS/T××××—××××
氧化铟镓锌靶材
1范围Formatted:Font:NotBold
本文件规定了氧化铟镓锌靶材(以下简称“IGZO”)的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包
装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于以氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末为原料,以常压烧结工艺生产的氧化铟镓锌
靶材,主要应用于新型显示TFT-LCD、OLED等产业,用来制备透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管
沟道层半导体材料。
2规范性引用文件Formatted:Font:NotBold
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件的必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用
于本文件。
GB/T351金属材料电阻率测量方法Commented[1]:下面的几个标准自查名称是否有误。
GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
Deleted:系数
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T13298金属显微组织检验方法
GB/T38389ITO化学分析方法
YS/T1158铜铟镓硒靶材化学分析方法
3术语和定义
文档评论(0)