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ICS77.150.99
CCSH62YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/TXXX-XXXX
氧化铟镓锌（IGZO）靶材
Indiumgalliumzincoxide(IGZO)target
（送审稿）
××××-××-××发布××××-××-××实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/T××××—××××
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。Deleted:一
请注意本文件的有些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口。
本文件起草单位：芜湖映日科技股份有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、先导薄膜材料（广
东）有限公司、广西晶联光电材料有限责任公司、河北恒博新材料科技股份有限公司、株洲火炬安泰
新材料有限公司、上海大学、广东欧莱高新材料股份有限公司
本文件主要起草人：曾墩风、王志强、葛春桥、余芳、黄誓成、李庆丰、蒋少英、李喜峰、李鹏。
1
YS/T××××—××××
氧化铟镓锌靶材
1范围Formatted:Font:NotBold
本文件规定了氧化铟镓锌靶材（以下简称“IGZO”）的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包
装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于以氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末为原料，以常压烧结工艺生产的氧化铟镓锌
靶材，主要应用于新型显示TFT-LCD、OLED等产业，用来制备透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管
沟道层半导体材料。
2规范性引用文件Formatted:Font:NotBold
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件的必不可少的条款。其中，注日期的引用文
件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用
于本文件。
GB/T351金属材料电阻率测量方法Commented[1]:下面的几个标准自查名称是否有误。
GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法
Deleted:系数
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T13298金属显微组织检验方法
GB/T38389ITO化学分析方法
YS/T1158铜铟镓硒靶材化学分析方法
3术语和定义
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