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压电式薄膜压力传感器

1范围

本文件规定了压电式薄膜压力传感器的术语和定义，型式和基本参数，基本要求，技术要求，试验

方法，检验规则、包装，标志，存储，使用，质量承诺。

本文件适用于压电式薄膜压力传感器。该产品在动态压力作用下会有电信号输出，用于多种应用条

件下的动态压力测量。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T7665-2005传感器通用术语

GB/T7666-2005传感器命名法及代码

GB/T13384-2008机电产品包装通用技术条件

GB/T15478-2015压力传感器性能试验方法

GB/T18806-2002电阻应变式压力传感器总规范

GB/T20522-2006半导体器件第14-3部分：半导体传感器-压力传感器

3术语和定义

GB/T7665-2005中所界定的及下列术语和定义适用于本文件。

3.1压电式

压电器件的基本原理是压电材料受到应力，产生电荷，经电荷放大器放大，转化为与电荷成正比压

力。

3.2压电式传感器

将被测量变化转化由于材料受机械力产生静电电荷或电压变化的传感器。

3.3压电式薄膜压力传感器

采用薄膜制造工艺，利用压电材料制成的压力传感器。该传感器在外力作用下会有电信号输出，利

用力电转换关系进行外力的测量。

4命名方法及代号

传感器的名称由主称和修饰语构成，命名为“××压电式薄膜压力传感器”。

传感器的型号代号由四部分构成，用大写汉语拼音字母和阿拉伯数字表示：

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ａ）主称；

ｂ）被测量；

ｃ）转换原理；

ｄ）序号。

四部分表述分别为：

FFPE

d)序号（主特征、参数）

c)分类（压电式）

b)被测量（压力）

a)主称（薄膜传感器）

4.1第一部分——主称

主称（薄膜传感器）用代号“F”标记，为Film的首字母。

4.2第二部分——被测量

被测量（压力）用代号“F”标记，为Force的首字母。

4.3第三部分——转换原理的分类

转换原理（压电式）用代号“PE”标记，为Piezoelectric的PE字母组合。

4.4第四部分——序号

产品用阿拉伯数字标记，需要表征被测压力类型，准确度等级，测量量程。

5基本参数和优先值

5.1量程及精度

量程可以覆盖10KPa~10GPa的范围，在实际使用中，为了保证测量精度，建议传感器量程上限应从

以下数值中选取。薄膜传感器在大的量程范围内不具有线性力电关系，在不同材料表面进行标定会得到

不同的结果，因此在使用中应保持使用环境和标定环境的一致性。

10KPa~1MPa，测量精度为±1%；

1MPa~10MPa，测量精度为±3%；

10Mpa~10GPa，测量精度