《真空镀膜设备电磁兼容与辐射安全技术规范》编制说明.pdf

广东省真空学会团体标准

《真空镀膜设备电磁兼容与辐射安全技术规范》（征求意见

稿）编制说明

一、工作简况

1.任务来源

本团体标准根据《广东省真空学会广东省真空学会团体标准管理办法的通知》要求进

行制定。起草单位有中山凯旋真空科技股份有限公司、广东省中山市质量技术监督标准与编

码所等。《真空镀膜设备电磁兼容与辐射安全技术规范》团体标准由广东省真空学会归口。

2.主要工作过程

提案、立项阶段：2021年1月，广东省真空学会发布了关于《广东省真空学会广东省

真空学会团体标准管理办法的通知》。2021年4月，中山凯旋真空科技股份有限公司向省

真空学会提出了制定《真空镀膜设备电磁兼容与辐射安全技术规范》团体标准的申请，获得

了省真空学会的批准和立项。

起草（草案、论证）阶段：2021年4月，由中山凯旋真空科技股份有限公司和广东省

中山市质量技术监督标准与编码所等单位联合成立了标准工作组，并开始对标准的范围，术

语与定义，及各章节内容进行了细致讨论。结合企业实际情况，对标准内容进行了制定，形

成了标准征求意见稿。

3.征求意见

2021年5月，学会向各相关单位及专家发送标准征求意见的函，将开展为期30日的广

泛意见征集工作。征集相关单位对标准范围、可操作性、语言表述等方面的意见建议。

二、标准的编制原则

本标准在起草过程中，主要遵从了以下原则：

1.与会员企业技术水平相符合原则

标准起草过程中，标准化工作组成员广泛查阅相关文献资料，并对真空镀膜设备制造商、

关键材料与部件供应商、设备使用方进行调研，充分听取这些领域会员企业的意见，在标准

内容上认真研究企业实际应用，在符合国家强制性标准的前提下，充分反映会员企业实际，

做到标准为本团体企业服务、为团体企业产品质量提升提供技术支撑。

2.注重从基础的材料性能入手保障设备技术性能

本标准从真空镀膜设备用各类材料的性能入手，通过对不同材料电磁屏蔽效能的规定，

保障产品的最终电磁兼容和电磁辐射安全性能达到规范要求。例如，本标准中对设备可能用

到的橡胶衬垫、涂料、织物、塑料、玻璃、纤维、硫化橡胶等材料均做出了相关规定，可以

有效的指导企业设计和制造符合要求的产品，同时保障使用者的人身安全。

3.鼓励技术进步和规范行业发展原则

电气设备电磁兼容和电磁场辐射抗扰度要求，以及相应试验方法，技术门槛高，企业接

受难度搭，为鼓励技术进步，标准在条款上尽量只陈述原则和要求，鼓励技术创新。同时积

极参考国内外最新的技术要求，保证了标准内容的先进性。

4.与其它标准的协调一致原则

标准起草过程中，细致研究国内目前现有电工电子电气设备相关国家标准、行业标准、

地方标准，结合GB/T4365、GB/T17626.3、GB/T21067和GB/T26667等标准，在内容、

术语、试验方法上尽量与其他标准保持协调一致。

三、标准主要内容

本标准规定了真空镀膜设备电磁兼容与辐射安全的术语和定义、技术要求和试验方法。

（一）范围

本标准适用于电气工作频率在0Hz～40MHz范围内的工业用真空镀膜设备（以下简称

“设备”）。

（二）术语和定义

在GB/T4365—2003《电工术语电磁兼容》等所规定的术语与定义基础上，对“电磁

兼容性”、“电磁干扰”、“（电磁）辐射”、“受试设备”等名词进行了补充和定义。

（三）技术要求

从使用频率、材料、镀膜腔体、电子机柜、电磁辐射干扰限值五个方面对设备的技术指

标做出规定，对该类设备主要部件电磁兼容性和辐射安全性做出了明确的规定。

（四）试验方法

对照（三），对各项要求的试验方法做出详细的描述。

四、采用国际标准或国外先进标准的程序及水平说明

查无相关国际标准和国外标准，因而本标准制定过程未启用采标程序。

五、与现行法律、法规和强制性国家标准的关系

本标准与现行相关法律、法规和强制性国家标准无冲突之处。

六、标准宣贯及实施建议

中山凯旋真空科技股份有限公司等真空装备领域相关企业是标准实施的主体，为促进各

相关企业准确理解、掌握和执行标准，规范企业的操作和管理，提高高精度磁控溅射镀膜设

备的设计、加工制造和应用水平，加强行业自律，标准发布后，后