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一文看懂XRD基本原理（必收藏）

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XRD全称X射线衍射（X-RayDiffraction）,利用X射线在晶体中

的衍射现象来获得衍射后X射线信号特征，经过处理得到衍射图谱。

利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“透视眼”

来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等，下面就让咱们来

简要的了解下XRD的原理及应用和分析方法，下面先从XRD原理学

习开始。

1

X射线衍射仪的基本构造

XRD衍射仪的适用性很广，通常用于测量粉末、单晶或多晶体等

块体材料，并拥有检测快速、操作简单、数据处理方便等优点，是一

个标标准准的“良心产品”。

在X射线衍射仪的世界里，X射线发生系统（产生X射线）是

“太阳”，测角及探测系统（测量2θ和获得衍射信息）是其“眼睛”，

记录和数据处理系统是其“大脑”，三者协同工作，输出衍射图谱。

在三者中测角仪是核心部件，其制作较为复杂，直接影响实验数据的

精度，毕竟眼睛是心灵的窗户嘛！下面是X射线衍射仪和测角仪的结

构简图。

XRD结构简图

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XRD立式测角仪

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X射线产生原理

X射线是一种频率很高的电磁波，其波长为10-8-10-12m远比可

见光短得多，因为其穿透力很强，并且其在磁场中的传播方向不受影

响。小提示：X射线具有一定的辐射，对人体有一定的副作用，目前

主要铅玻璃来进行屏蔽。

X射线是由高速运动的电子流或其他高能辐射流（γ射线、中子流

等）流与其他物质发生碰撞时骤然减速，且与该物质中的内层原子相

互作用而产生的。

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X射线管的结构

不同的靶材，因为其原子序数不同，外层的电子排布也不一样，

所以产生的特征X射线波长不同。使用波长较长的靶材的XRD所得的

衍射图峰位沿2θ轴有规律拉伸；使用短波长靶材的XRD谱沿2θ轴有

规律地被压缩。但需要注意的是，不管使用何种靶材的X射线管，从

所得到的衍射谱中获得样品面间距d值是一致的，与靶材无关。

辐射波长对衍射峰强的关系是:衍射峰强主要取决于晶体结构，但

是样品的质量吸收系数（MAC）与入射线的波长有关，因此同一样品

用不同耙获得的图谱上的衍射峰强度会有稍微的差别。特别是混合物，

各相之间的MAC都随所选波长而变化，波长选择不当很可能造成

XRD定量结果不准确。

因为不同元素MAC突变拥有不同的波长，该波长就称为材料的吸

收限，若超过了这个范围就会出现强的荧光散射。所以分析样品中的

元素选择靶材时，一般选择原子序数比靶的元素的原子序数小1至4。

就会出现强的荧光散射。例如使用Fe靶分析主要成分元素为FeCoNi

的样品是合适的，而不适合分析含有MnCrVTi的物质常见的阳极靶

材有：Cr,Fe,Co,Ni,Cu,Mo,Ag,W,最常用的是Cu靶。

表1-1常见靶材的种类和用途

靶材

主要特长用途

种类