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专栏：电工电子产品失效分析／F

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MEMS器件可靠性评价标准分析及建议

尹丽晶，张魁23，崔波！

（1.中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄050051；2.国家半导体器件质量检验检测中心，石家庄050051；

3.河北北芯半导体科技有限公司，石家庄050051)

摘要：本文研究了MEMS器件的失效模式和失效机理，进行了归纳总结；基于其模式和失效机理，分析了MEMS器件的

可靠性试验项目和相关试验标准，总结了可靠性试验现状。最后，针对以上情况对MEMS器件可靠性试验的标准体系

建设和完善提出了建议，进行了展望。

关键词：MEMS器件：可靠性：标准

中图分类号：TH842文献标识码：A