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GaN器件金刚石近结集成热管理技术的研究进展
目录
GaN器件金刚石近结集成热管理技术的研究进展(1).............3
一、内容描述...............................................3
二、GaN器件概述............................................3
GaN器件基本概念及特性...................................4
GaN器件应用领域.........................................6
GaN器件面临的挑战与问题.................................7
三、金刚石热管理技术研究进展...............................7
金刚石热学性质及其热管理应用概述........................8
金刚石散热材料研究现状..................................9
金刚石热界面材料研究与应用.............................10
四、GaN器件与金刚石近结集成技术...........................12
近结集成技术原理及优势分析.............................13
近结集成技术工艺流程研究...............................14
近结集成技术中的关键问题及解决方案.....................16
五、GaN器件金刚石近结集成热管理技术实验研究与应用进展.....16
实验研究方法及流程设计.................................18
实验结果分析与讨论.....................................19
近结集成热管理技术应用案例分析.........................21
六、国内外研究现状及发展趋势预测..........................22
国内外研究现状分析比较.................................23
GaN器件金刚石近结集成热管理技术发展趋势预测............24
七、技术挑战与创新方向探讨................................25
GaN器件金刚石近结集成热管理技术的研究进展(2)............26
内容综述...............................................26
GaN器件概述............................................27
2.1GaN基半导体简介.......................................28
2.2GaN器件的主要特性.....................................30
金刚石近结集成的原理和技术.............................31
3.1金刚石近结的概念......................................32
3.2集成技术的基本原则....................................34
器件结构设计...........................................35
4.1结构优化的重要性......................................36
4.2设计策略与方法........................................37
金刚石材料的选择和应用.................................37
5.1金刚石材料的优势......................................38
5.2材料选择的影响因素....................................39
热管理技术研究.........................................41
6.1热传导机制分析........................................43
6.2热阻及散热效率评估....................................44
实验方法与测试手段.....................................46
7.1测试设备介绍....................
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