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精密IC制造中超精密气浮运动台的结构创新与性能优化设计

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，精密IC制造作为电子信息产业的核心基础，扮演着至关重要的角色。从智能手机、电脑到各类智能设备，从航空航天、国防军事到医疗电子，IC无处不在，其性能和质量直接决定了这些设备的功能和可靠性。随着5G、人工智能、物联网等新兴技术的蓬勃兴起，对IC的性能和集成度提出了更为严苛的要求，推动着精密IC制造技术不断向更高精度、更小尺寸的方向迈进。

在精密IC制造过程中，超精密气浮运动台作为关键的核心设备，发挥着不可替代的作用，堪称整个制造环节的“幕后英雄”。光刻环节，这是