玻璃空腔衬底的高温压电超声换能器设计与研究.docxVIP

玻璃空腔衬底的高温压电超声换能器设计与研究

目录

玻璃空腔衬底的高温压电超声换能器设计与研究（1）．．．．．．．．．．．．4

内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.2研究目的与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

高温压电超声换能器理论基础．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1压电效应基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2超声波传播原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3玻璃空腔衬底特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

玻璃空腔衬底设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

3.1空腔结构优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2衬底材料选择与加工．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

3.3玻璃空腔衬底制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

高温压电超声换能器结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.1换能器结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.2换能器电极设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

4.3换能器封装设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

高温压电超声换能器性能仿真．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

5.1仿真模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

5.2性能参数分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

5.3仿真结果验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

高温压电超声换能器实验研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

6.1实验系统搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

6.2换能器性能测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

6.3实验结果分析与讨论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

高温压电超声换能器应用实例．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

7.1应用领域概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

7.2应用实例分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

7.3应用效果评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

玻璃空腔衬底的高温压电超声换能器设计与研究（2）．．．．．．．．．．．36

内容简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38

1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

玻璃空腔衬底概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41

2.1玻璃空腔衬底的特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

2.2玻璃空腔衬底的优势与应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

高温压电超声换能器基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44

3.1压电效应原理．．．．．．．．．．．．