半导体装备中使用的电源种类.docxVIP

半导体装备中使用的电源种类

电源种类

特点

应用场景

交流电源

将交流电压转换成特定输出电压和电流的电源设备

广泛应用于基站、服务器、通信设备等高功耗设备，通过电能的变换和转换，提供设备所需的电源电压和电流

直流电源

将交流电压转换为直流电压或电流输出的电源设备

能够为各种类型的半导体器件提供稳定的输出电压和电流，确保设备的正常运行

高频电源

能够输出高频信号电压的电源设备

为各种类型的半导体器件提供激励信号，促进设备的正常运行，也可为高功率半导体器件提供所需的驱动能量

射频电源

产生高频交流电源，频率范围在300KHz-300MHz之间，但半导体设备常用的工作频率在2MHz至60MHz之间

在半导体设备的特定工艺过程中，如刻蚀、沉积等，提供高频激励信号

反馈电源

通过反馈机制自动调整输出电压和电流的电源设备

在半导体设备中，用于有效控制半导体器件的电源参数，确保器件的安全运行和性能优化

UPS电源

不间断电源，能在主电源断电时提供紧急电力供应

用于保证半导体工厂在电力中断时的关键负荷（如生产设备、控制系统等）的连续运行

柴油发电机备用电源

作为主电源故障时的备用电源

在电力供应不稳定或主电源故障时，为半导体工厂提供稳定的电力支持