《光伏电池工艺设备 原子层沉积(ALD)镀膜设备技术规范》征求意见稿编制说明.docx

《光伏电池工艺设备原子层沉积（ALD）

镀膜设备技术规范》

（征求意见稿）

编制说明

I

目录

一、工作简况 1

（一）任务来源 1

（二）立项目的和意义 1

（三）起草单位 2

（四）主要工作过程 2

1.标准预研阶段 2

2.标准立项阶段 2

3.调研和初稿阶段 2

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则 3

（一）标准化对象简要情况 3

（二）制定原则 3

三、主要技术内容 4

（一）标准名称和适用范围 4

（二）技术要求 4

1.外观及结构 4

2.整机性能 4

3.工艺性能 5

4.自动化 6

5.安全 6

四、采用国际标准和国外先进标准的程度及理由，以及与国际、国外同类标准水平对比情况，或

与测试的国外样品的有关数据对比情况 6

五、与现行法律法规、强制性国家标准及相关标准协调配套情况 6

六、重大分歧意见的处理经过和依据 7

七、贯彻标准的要求及建议 7

八、废止或代替现行相关标准的建议 7

九、其他应予说明的事项 7

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一、工作简况

（一）任务来源

根据2025年1月10日广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布的《关于光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范等三项团体标准立项的通知》，由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头申报的团体标准《光伏电池工艺设备原子层沉积（ALD）镀膜设备技术规范》获批立项。

（二）立项目的和意义

原子层沉积（ALD）技术是一种先进的薄膜沉积技术，它通过精确控制化学反应在基底表面逐层沉积材料，实现原子级别的薄膜厚度控制。ALD技术在微电子、光伏、光学、生物医学等领域展现出巨大的应用潜力。随着全球对高性能材料需求的不断增长，以及新能源、柔性电子等新兴产业的崛起，ALD技术迎来了前所未有的发展机遇。

技术发展与市场需求：ALD技术以其高精度控制、均匀性覆盖和无孔隙等特点，在微电子、光学、生物医学等领域展现出了巨大的应用潜力。随着全球对高性能材料需求的不断增长，以及新能源、柔性电子等新兴产业的崛起，技术更是迎来了前所未有的发展机遇。

提升国际竞争力：开展原子层镀膜设备标准的研制，不仅符合技术发展的趋势，也是满足市场需求、推动产业升级的重要举措。通过自主研发和制造高性能的原子层镀膜设备，可以满足市场对高精度薄膜制备技术的需求，推动相关产业的升级和发展。

技术创新与产业升级：原子层镀膜设备项目的实施将促使企业加大研发投入，提升技术创新能力，进而推动企业的转型升级和可持续发展。

环境友好与可持续发展：在可持续发展的未来，ALD薄膜可以提高

2

太阳能电池板和燃料电池的性能。采用ALD涂层的粉末载体展现了在低成本、环境友好型催化剂方面的潜力。

提高产品性能：ALD技术能够显著增加组件的集成密度，提高太阳能电池板和燃料电池的性能，这对于提高能源效率和降低成本具有重要意义。

（三）起草单位

本标准由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头编制。

（四）主要工作过程

1.标准预研阶段

2024年10月6日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司召开标准立项讨论会。会议决定以拉普拉斯新能源科技股份有限公司积累多年的ALD镀膜设备研发和生产制造经验为基础，检索对比国内外ALD镀膜设备相关标准，组建标准编制组，开始进行预研工作。

2.标准立项阶段

经过前期的讨论和资料检索，基本确定拟立项标准的编制目的、意义、框架和主要内容等。

2024年12月31日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司向广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会提交了《团体标准立项申请书》。2025年1月10日，广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布《关于光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范等三项团体标准立项的通知》，正式批准《光伏电池工艺设备原子层沉积（ALD）镀膜设备技术规范》立项。

3.调研和初稿阶段

标准立项后，编制组进行了新一轮的标准查新，并根据立项任务书的

3

计划，着手起草初稿，并于2025年1月22日完成标准草案。

草案完成后，编制组于2025年2月20日对标准草案的全文框架、技术指标等进行研讨，研讨会后编制组对标准草案进行了修改。2025年3月3日，编制组对于文本细节、指标限值进一步确认和完善。

经过两次研讨后，编制组于2025年3月19日形成《光伏电池工艺设备原子层沉积（ALD）镀膜设备技术规范》（征求意见稿）和编制说明。

二、标准化对象