《光伏电池工艺设备 低压扩散设备技术规范》征求意见稿编制说明.docx

《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术

规范》

（征求意见稿）

编制说明

I

目录

一、工作简况 1

（一）任务来源 1

（二）立项目的和意义 1

（三）起草单位 1

（四）主要工作过程 1

1.标准预研阶段 1

2.标准立项阶段 1

3.调研和初稿阶段 2

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则 2

（一）标准化对象简要情况 2

（二）制定原则 3

三、主要技术内容 3

（一）标准名称和适用范围 3

（二）技术要求 3

1.外观及结构 3

2.整机性能 4

3.工艺性能 4

4.自动化 5

5.安全 5

四、采用国际标准和国外先进标准的程度及理由，以及与国际、国外同类标准水平对比情况，或

与测试的国外样品的有关数据对比情况 5

五、与现行法律法规、强制性国家标准及相关标准协调配套情况 6

六、重大分歧意见的处理经过和依据 6

七、贯彻标准的要求及建议 6

八、废止或代替现行相关标准的建议 6

九、其他应予说明的事项 6

1

一、工作简况

（一）任务来源

根据2025年1月10日广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布的《关于光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范等三项团体标准立项的通知》，由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头申报的团体标准《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》获批立项。

（二）立项目的和意义

低压扩散的主要目的是在硅片表面进行硼或磷元素的扩散掺杂，以形成P-N结、表面场或掺杂钝化接触，这是太阳能电池中实现光电转换的关键结构。通过制定本技术规范，可提高电池效率及良率、优化电池制造工艺、降低成本，从而推动本行业的技术进步。

低压扩散技术可提高电池效率和良率、降低成本、提高稼动率，然而，当前国内外尚缺乏统一的扩散设备技术规范，这限制了光伏产业的健康发展和技术交流。因此，制定《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》团体标准显得尤为迫切和必要。

（三）起草单位

本标准由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头编制。

（四）主要工作过程

1.标准预研阶段

2024年10月6日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司召开标准立项讨论会。会议决定以拉普拉斯新能源科技股份有限公司积累多年的扩散设备研发和生产制造经验为基础，检索对比国内外扩散设备相关标准，组建标准编制组，开始进行预研工作。

2.标准立项阶段

2

经过前期的讨论和资料检索，基本确定拟立项标准的编制目的、意义、框架和主要内容等。

2024年12月31日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司向广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会提交了《团体标准立项申请书》。2025年1月10日，广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布《关于光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范团体标准立项通知》，正式批准《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》立项。

3.调研和初稿阶段

标准立项后，编制组进行了新一轮的标准查新，并根据立项任务书的计划，着手起草初稿，并于2025年1月22日完成标准草案。

草案完成后，编制组于2025年2月20日对标准草案的全文框架、技术指标等进行研讨，研讨会后编制组对标准草案进行了修改。2025年3月3日，编制组对于文本细节、指标限值进一步确认和完善。

经过两次研讨后，编制组于2025年3月19日形成《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》（征求意见稿）和编制说明。

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则

（一）标准化对象简要情况

本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散工艺，硅片经过此工艺形成PN结、表面场或钝化接触的掺杂，是电池生产中的一种关键设备，可用于制造N型TOPCon太阳能电池、背接触(BC)太阳能电池、P型PERC和PERT电池等。

本标准适用于生产TOPCon和BC等电池的低压扩散设备的制造和检验，标准主要内容包括设备的术语和定义、型号及命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准将为光伏电池制造

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企业提供设备选型、使用和维护的依据，同时也为设备制造商提供设计和生产的指导。

（二）制定原则

1.适用性原则。制定本标准的出发点是统一低压扩散设备的技术要求，保证产品质量，实现国产替代。制定标准过程中，根据产品工艺的成熟与完善、技术发展水平及测试数据确定技术指标取值范围，力求确保标准的合理性与适用性。

2.一致