《光伏电池工艺设备 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)镀膜设备技术规范》征求意见稿编制说明.docx

《光伏电池工艺设备等离子体增强化学气相沉积（PECVD）镀膜设备技术规范》

（征求意见稿）

编制说明

I

目录

一、工作简况 1

（一）任务来源 1

（二）立项目的和意义 1

（三）起草单位 1

（四）主要工作过程 1

1.标准预研阶段 1

2.标准立项阶段 2

3.调研和初稿阶段 2

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则 2

（一）标准化对象简要情况 2

（二）制定原则 3

三、主要技术内容 3

（一）标准名称和适用范围 3

（二）技术要求 4

1.外观及结构 4

2.整机性能 4

3.工艺性能 5

4.自动化 6

5.安全 6

四、采用国际标准和国外先进标准的程度及理由，以及与国际、国外同类标准水平对比情况，或

与测试的国外样品的有关数据对比情况 6

五、与现行法律法规、强制性国家标准及相关标准协调配套情况 6

六、重大分歧意见的处理经过和依据 7

七、贯彻标准的要求及建议 7

八、废止或代替现行相关标准的建议 7

九、其他应予说明的事项 7

1

一、工作简况

（一）任务来源

根据2025年1月10日广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布的《关于光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范等三项团体标准立项的通知》，由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头申报的团体标准《光伏电池工艺设备等离子体增强化学气相沉积（PECVD）镀膜设备技术规范》获批立项。

（二）立项目的和意义

本团体标准的制定旨在规范光伏电池工艺中PECVD镀膜设备的技术水平，确保设备性能的稳定性和可靠性，规范炉管内径、载片量、硅片尺寸和温度等工艺参数。通过统一的技术规范，可以提高光伏电池产品的质量和市场竞争力，推动光伏产业的可持续发展。

随着全球能源结构的转型和可再生能源的快速发展，光伏产业作为清洁能源的重要组成部分，其技术进步和产业升级对实现碳中和目标具有重要意义。等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术作为光伏电池制造中的关键工艺，对提高电池效率和降低成本起着决定性作用。然而，当前国内外尚缺乏统一的PECVD镀膜设备技术规范，这限制了光伏产业的健康发展和技术交流。因此，制定《光伏电池工艺设备等离子体增强化学气相沉积（PECVD）镀膜设备技术规范》团体标准显得尤为迫切和必要。

（三）起草单位

本标准由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头编制。

（四）主要工作过程

1.标准预研阶段

2024年10月6日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司召开标准立项

2

讨论会。会议决定以拉普拉斯新能源科技股份有限公司积累多年的PECVD镀膜设备研发和生产制造经验为基础，检索对比国内外PECVD镀膜设备相关标准，组建标准编制组，开始进行预研工作。

2.标准立项阶段

经过前期的讨论和资料检索，基本确定拟立项标准的编制目的、意义、框架和主要内容等。

2024年12月31日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司向广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会提交了《团体标准立项申请书》。2025年1月10日，广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布《关于光伏电池工艺设备等离子体增强化学气相沉积（PECVD）镀膜设备技术规范团体标准立项通知》，正式批准《光伏电池工艺设备等离子体增强化学气相沉积（PECVD）镀膜设备技术规范》立项。

3.调研和初稿阶段

标准立项后，编制组进行了新一轮的标准查新，并根据立项任务书的计划，着手起草初稿，并于2025年1月22日完成标准草案。

草案完成后，编制组于2025年2月20日对标准草案的全文框架、技术指标等进行研讨，研讨会后编制组对标准草案进行了修改。2025年3月3日，编制组对于文本细节、指标限值进一步确认和完善。

经过两次研讨后，编制组于2025年3月19日形成《光伏电池工艺设备等离子体增强化学气相沉积（PECVD）镀膜设备技术规范》（征求意见稿）和编制说明。

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则

（一）标准化对象简要情况

等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术结合了化学气相沉积

3

（CVD）原理与等离子体技术，能在较低温度下生成高质量薄膜，并精确控制其特性。PECVD（等离子体增强化学气相沉积）镀膜设备通过机械泵和分子泵维持沉积腔内的真空和低气压条件，工艺气体被引入腔室，在射频电源激发的电场作用下发生化学反应，生成固体薄膜。分解产物吸附在基底表面，逐渐