T_CEATEC XXX—2025 钙钛矿真空镀膜机.pdf

ICS00.000

CCS000

团体标准

T/CEATECXXX—2025

钙钛矿真空镀膜机

Perovskitevacuumcoatingmachine

（征求意见稿）

2025-X-XX发布2025-X-XX实施

中国欧洲经济技术合作协会发布

目次

前言III

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4技术要求2

4.1外观要求2

4.2性能要求2

4.3安全要求2

4.4结构要求2

4.5人员要求3

4.6环境要求3

5试验方法3

5.1外观检查3

5.2镀膜均匀性试验3

5.3镀膜重复性试验3

5.4真空度试验3

5.5基板温度控制试验3

5.6晶粒尺寸控制试验3

5.7能耗指标试验3

5.8平均无故障时间试验3

5.9电气安全试验4

5.10机械安全试验4

5.11温度适应性试验4

5.12湿度适应性试验4

5.13洁净度适应性试验4

5.14电磁兼容性试验4

6检验规则4

6.1检验分类4

6.2出厂检验4

6.3型式检验4

6.4判定规则4

7安装、交付技术标准5

7.1概述5

7.2安装、交付技术标准内容5

7.3安装、交付技术标准制定要求5

8标志、包装、运输、贮存5

I

8.1标志5

8.2包装5

8.3运输5

8.4贮存5

II

钙钛矿真空镀膜机

1范围

本文件规定了钙钛矿真空镀膜机的技术要求、试验方法、检验规则、安装、交付技术标

准、标志、包装、运输、贮存。

本文件适用于钙钛矿太阳能电池生产中真空镀膜设备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期

的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括

所有的修改单）适用于本文件。

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