原创力文档摘要
摘要
在工程陶瓷材料中，AlO和SiN陶瓷因具有优异的电学性能、稳定的物理及化
2334
学性能，被广泛应用于电子、机械、生物、航空航天等众多领域。同时，由于现代电
子产品趋向于微型化、高密度化和高性能方向发展，精密微结构的需求也越来越多，
而传统的加工方法存在诸多不足与弊端，难以满足质量与精度要求。激光加工作为一
种新型绿色
摘要
摘要
在工程陶瓷材料中，AlO和SiN陶瓷因具有优异的电学性能、稳定的物理及化
2334
学性能，被广泛应用于电子、机械、生物、航空航天等众多领域。同时，由于现代电
子产品趋向于微型化、高密度化和高性能方向发展，精密微结构的需求也越来越多，
而传统的加工方法存在诸多不足与弊端，难以满足质量与精度要求。激光加工作为一
种新型绿色
文档评论（0）