URE2000型光刻机操作指南.docVIP

URE-2000/25型紫外光刻机操作指南

注意

注意

你可能并不需要依次执行以下所有操作，因为某些开关可能已经打开，或你只需要使用以下部分功能。请根据自己的实际情况选择操作步骤。

如无特别的把握，请不要调整操作次序。非管理人员请勿做以下规程之外的操作。

按下右面板上的“EmergencyStop”按钮可以立即停止所有的移动动作，紧急时刻请果断使用。拔出按钮后未完成的动作会继续执行。

严禁在曝光系统和显微镜系统的滑轨上放置任何东西。

严禁使用酒精、丙酮等化学溶剂擦拭光学部件。严禁徒手接触光学部件和片托的工作面。

开机。

打开光刻机电源、真空泵、压缩空气。使压缩空气气压力约0.4-0.5MPa，真空压力约0.05-0.08MPa。

注意：过大的气体压力可能会对设备造成损坏。

点亮“汞灯电源”按钮，接着点亮“汞灯出发”按钮，启辉汞灯。汞灯点燃10分钟之后稳定。按下“控制电源”按钮，控制电源打开，几秒钟后控制面板上“复位”健指示灯亮，曝光时间显示默认值“0.010.0”表明控制系统工作时间正常。

注意：待汞灯启动10分钟后才可启动控制电源，提前启功会导致汞灯击穿

装片。?

将样片放到承片台上，打开“小硅片”气动开关，样片被吸紧，反时针旋转曝光间隙调节手轮，使样片低于掩模面；将掩模放到掩模吸盘上，按“掩模”按钮（指示灯亮），掩模被吸紧。

调平。

顺时针旋转上升手轮，通过杠杆机构使样品上升，打开“气浮”按钮，通过样片顶紧掩膜板来实现调平，关闭“气浮”按钮

注意：如不需对准贴紧掩膜版即可按“曝光”健自动完成曝光。

曝光。

按下“设定”键，指示灯亮，同时曝光时间显示的百位数字闪烁，可按“+”、“-”键对曝光时间的第一位数调整，调整好后，再次按设定（SET）键可进行下一位数字调整，当调整完最后一位时，再按“设定”键，退出“时间”设定，按“曝光”键，可进行曝光操作（倒计时或定剂量曝光）。?

注意：曝光过程中，显示窗显示曝光状态的倒计时。

取片。

逆时针旋转上升手轮，通过杠杆机构使样品下降，关闭“小硅片”气动开关，将上层掩膜台向左侧移动，取出样片。

(如果有多个样品需要处理，重复第二、三、四、五步操作。)

关机。

关闭控制系统电源，再关掉汞灯电源

关闭真空系统、压缩空气。

关闭光刻机电源。