1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 电子工程/通信技术
  5. 光网络传输
网站大量收购独家精品文档，联系QQ：2885784924

宽波段激光Sn等离子体光谱特性及其动力学演化研究.pdf

宽波段激光Sn等离子体光谱特性及其动力学演化研究.pdf

    1. 1、本文档共56页，其中可免费阅读17页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
    2. 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
    3. 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    4. 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    摘要

    摘要

    极紫外光刻技术是半导体制造业中的一项先进技术，其光源依赖于高能脉冲

    激光聚焦于固态锡靶上产生的高温、高密的激光等离子体。激光等离子体中的高电

    荷态离子在极紫外光刻光源的性能和效率方面起着至关重要的作用。高电荷态Sn

    离子的能级、跃迁几率、振子强度等原子参数是分析激光Sn等离子体的发射光谱、

    研究辐射不透明度以及提升光刻光源转换效率必不可少的关键数据。因此，本文首

    先完成了极紫外光谱仪宽波段6–45nm波长

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    dongbuzhihui + 关注
    实名认证
    内容提供者

    该用户很懒，什么也没介绍

    咨询Ta 进入空间

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >