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YST-硅多晶用硅粉理化性能的测定第1部分有效硅含量的测定 重量法.pdf

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ICS77.040

UIICS××××××

CCSH17YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T××××—××××

硅多晶用硅粉理化性能的测定

第1部分:有效硅含量的测定重量法

Determinationofphysicochemicalpropertiesofpolysiliconpowderfor

polycrystainesilicon-Part1:Determinationofavailablesiliconcontent

(征求意见稿)

××××-××-××发布××××-××-××实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/TXXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化

技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。

本文件起草单位:

本文件主要起草人:

I

引言

工业硅粉广泛用于配制合金、制取高纯半导体材料和有机硅以及其他用途,是现代工业尤其是高科

技产业必不可少的材料,应用于硅多晶行业及相关产业。受全球新能源政策的推进,工业硅产业链得到

了迅猛发展。

随着产业的进步对于原材料的管控也逐步细化及行业的不断发展,现有的验收标准已经不能满足生

产对于原材料控制的要求,不少硅多晶企业提出了更严格的指标参数,以控制硅粉原料的品质,以杜绝

铸造杂质、反应过废硅粉掺入硅粉造成工艺大幅度的变化,影响硅多晶生产的稳定性。因此硅多晶用硅

粉的指标参数的增加有利于硅多晶生产工艺更好的控制。对于硅多晶用硅粉的指标,硅多晶企业提出增

加硅粉活性、硅粉浊度、硅粉有效硅含量等参数的测定,以实现硅粉质量的全方位控制。

《YS/TXXXX-XXXX硅多晶用硅粉理化性能的测定》是硅多晶分析方法的系列标准,对提高硅多晶

技术能力和工艺控制水平,满足国内外市场需求有重要意义。

《YS/TXXXX-XXXX硅多晶用硅粉理化性能的测定》由一下几个

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