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ICS77.040
UIICS××××××
CCSH17YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T××××—××××
硅多晶用硅粉理化性能的测定
第1部分:有效硅含量的测定重量法
Determinationofphysicochemicalpropertiesofpolysiliconpowderfor
polycrystainesilicon-Part1:Determinationofavailablesiliconcontent
(征求意见稿)
××××-××-××发布××××-××-××实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/TXXXXX—XXXX
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化
技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本文件起草单位:
本文件主要起草人:
I
引言
工业硅粉广泛用于配制合金、制取高纯半导体材料和有机硅以及其他用途,是现代工业尤其是高科
技产业必不可少的材料,应用于硅多晶行业及相关产业。受全球新能源政策的推进,工业硅产业链得到
了迅猛发展。
随着产业的进步对于原材料的管控也逐步细化及行业的不断发展,现有的验收标准已经不能满足生
产对于原材料控制的要求,不少硅多晶企业提出了更严格的指标参数,以控制硅粉原料的品质,以杜绝
铸造杂质、反应过废硅粉掺入硅粉造成工艺大幅度的变化,影响硅多晶生产的稳定性。因此硅多晶用硅
粉的指标参数的增加有利于硅多晶生产工艺更好的控制。对于硅多晶用硅粉的指标,硅多晶企业提出增
加硅粉活性、硅粉浊度、硅粉有效硅含量等参数的测定,以实现硅粉质量的全方位控制。
《YS/TXXXX-XXXX硅多晶用硅粉理化性能的测定》是硅多晶分析方法的系列标准,对提高硅多晶
技术能力和工艺控制水平,满足国内外市场需求有重要意义。
《YS/TXXXX-XXXX硅多晶用硅粉理化性能的测定》由一下几个
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