宽温度范围SAW温度传感器研究.pdf

摘要

声表面波（SAW）传感器因其灵敏度高、体积小、稳定性好等特性在日常生

活中有广泛的应用，其中对于SAW温度传感器的研究主要集中在低温度区间内，

然而随着社会需求的增长，对于一些特殊环境中的温度测量已然变得迫切：如对

航天发动机、电厂熔炉等存在高温、宽温区设备的健康监测。而SAW温度传感器

在宽温度区间内应用的主要受限于压电衬底材料的温度特性。本文就LGS、CTGS

两种压电衬底的SAW温度传感器展开了研究。

本文中首先研究了基于LGS的SAW温度传感器。在（0°，90°，80°）、（90°，

90°，36°）、（0°，138.5°，26.6°）三种切向的LGS衬底上制备了单端口SAW谐振

器，对应的谐振频率分别为194MHz、204MHz、224.8MHz。按照文中所提出的

双谐振器温度传感器设计方案，将（0º，90º，80º）和（0º，138.6º，26.6º）谐振器

串联形成温度传感器a，将（90º，90º，36º）和（0º，138.6º，26.6º）谐振器串联

形成温度传感器b。在室温~300℃对两种传感器进行温度特性测试，结果显示（0º，

90º，80º）和（90º，90º，36º）谐振器均表现出频率随着温度升高先增大再减小

的变化规律，温度转变点分别在178℃和195℃；（0º，138.6º，26.6º）谐振器的频

率和温度的关系则是单调递减，计算得温度转变点是18℃。同时根据拟合参数得

到对应传感器的温度输出表达式，证明了该方案的宽温度测试可行性。

针对LGS温度传感器双器件设计存在的问题，选择CTGS作为压电衬底进行

研究。在（0º，90º，ψ）切面上制备SAW谐振器并研究了12种切向的CTGS的

温度特性。结果显示12种切向谐振器在S11曲线、机电耦合系数、频率温度曲线

上均表现出关于ψ=0°对称的特征，很好的验证了CTGS结构对称性。通过室温

~400℃的温度测试，发现零频率温度系数切型出现在在ψ=38°附近，另外有5种

切向的谐振器频率-温度变化规律始终为单调递减，其中属（0°，90°，0°）切向的

温度转变点最低、机电耦合系数最高。所以，最终选择（0°，90°，0°）切向作为

宽温度范围温度传感器的压电衬底。

在（0°，90°，0°）切向CTGS上制备了不同结构参数的谐振器，用以优化传

感器的性能。通过对不同叉指对数、孔径、叉指间隙、金属膜厚的器件进行对比

实验确定了最终的参数。使用优化之后的器件进行了高低温测试，实验结果显示

在-100℃~400℃的范围内，传感器的频率-温度呈现出线性变化的规律，在此温度

区间通过线性拟合获得的温度灵敏度有146.84℃/MHz。相较于LGS，在此温度区

间内CTGS具有明显的优势。更宽温度范围（-100℃~1100℃）测试数据使用二次

函数拟合，提取出温度系数TCF、TCF，最终根据拟合参数确定了温度求解表达

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式。经过与热电偶的温度测试对比验证了该SAW温度传感器的可行性。

关键词：温度传感器，宽温度测温，硅酸镓钽钙，硅酸鎵镧，声表面波

ABSTRACT

Surfaceacousticwave(SAW)sensorsareusedinmanyareasofdailylifedueto

theirhighsensitivity,smallsize,andgoodstability.Atpresent,theresearchonSAW

temperaturesensorsismainlyconcentratedinthelowtemperaturerange.However,with

thegrowthofsocialdemand,temperaturemeasurementinsomespecialenvironments

hasbecomeurgent:suchasaerospaceengines,powerplantfurnacesandoth