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高效过滤器安装技术交底（泄漏率≤0.01%）

一、设计依据与规范标准

1.国家标准

–GB/T13554-2020《高效空气过滤器》：明确高效过滤器（HEPA）泄漏

率≤0.01%的技术要求及检测方法。

–JGJ71-2023《洁净室施工及验收规范》（最新修订版）：规定洁净度等

级≥ISO5级（百级）的洁净室高效过滤器安装前需进行PAO（聚α烯烃）气溶

胶扫描检漏。

2.行业规范

–ISO14644-32025《洁净室及相关受控环境-第3部分：检测方法》：采

用气溶胶光度计或粒子计数器进行泄漏率量化检测。

二、安装前准备

1.环境与系统清洁

–洁净室处理：安装前需对洁净室进行全面清洁，包括墙面、地面及天花板，

采用无尘布擦拭，尘埃粒子浓度≤3.5颗粒/m³（粒径≥0.5μm）。

–净化空调系统运行：连续运行24小时以上，风速稳定后检测系统内部积

尘量，确保风管内表面残留粒子≤1.0mg/m²。

2.过滤器检查

–外观检查：确认滤纸无破损、密封胶无开裂、框架无毛刺或锈斑（金属框），

尺寸偏差≤±1mm（边长＞1m时≤±2mm）。

–性能验证：核查产品合格证，过滤效率（MPPS法）≥99.995%，初阻力

≤220Pa（风速0.45m/s）。

三、安装工艺与关键控制点

1.密封方式选择

–液槽密封：适用于ISO3级以上洁净室，非牛顿密封液（如氟化液）填充

深度为液槽高度的2/3，密封液黏度需≥5000cP，确保刀架插入后无气泡逸出。

–双环密封垫：采用闭孔硅橡胶垫，压缩率25%~30%，拼接采用梯形搭接，

搭接长度≥10mm，避免直线缝隙。

2.安装操作规范

–方向与平整度：过滤器外框箭头与气流方向一致，竖向安装时波纹板垂直

地面，框架安装平整度偏差≤1mm/m。

–防污染措施：佩戴无尘手套操作，严禁触碰滤纸；安装后立即拆除保护膜，

避免二次污染。

3.泄漏率检测

–PAO气溶胶扫描法：

1.上游浓度设定：PAO气溶胶注入浓度10~20μg/L，上游均匀性验证（多

点采样变异系数≤15%）。

2.扫描检测：使用光度计沿过滤器边框及滤纸表面1~3cm处匀速移动（速

度≤5cm/s），局部泄漏率≤0.01%（即下游浓度≤上游浓度的0.01%）。

–氦质谱检漏法：针对超高效过滤器（ULPA），示踪氦气浓度检测灵敏度

达1×10⁻⁹Pa·m³/s，适用于泄漏点定位。

四、验收标准与记录

1.性能验收

–泄漏率：全扫描区域泄漏点≤3处，单点泄漏率≤0.005%。

–阻力均衡：同一洁净室高效过滤器初阻力差异≤5%，终阻力报警值设定为

初阻力的2倍。

2.文档记录

–安装记录：包括过滤器编号、安装位置、密封方式、检测数据及操作人员

签名。

–检漏报告：附PAO检测曲线、氦检图谱及不合格点整改记录。

五、安全与环保措施

1.人员防护

–防化护具：接触密封液时需佩戴防化手套及护目镜，避免皮肤直接接触氟

化液。

2.废弃物处理

–废弃过滤器：按危险废物分类存放，交由资质单位处理，防止玻纤滤纸粉

尘扩散。

技术交底签署

交底人：项目经理/技术负责人

接收人：施工班组、质检员、安全员

日期：2025年03月27日