TCPCIF-《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》编制说明.pdf

等离子刻蚀气体八氟环丁烷编制说明

（征求意见稿）

一、工作简况

1任务来源

根据中国石油和化学工业联合会印发《关于印发2023年第二批中国石油和化

学工业联合会团体标准项目计划的通知》，《等离子刻蚀气体八氟环丁烷》被

列入中国石油和化学工业联合会团体标准制定计划。

本标准由中国石油和化学工业联合会提出，中国石油和化学工业联合会标准

化工作委员会归口，由浙江大学衢州研究院、南大光电（乌兰察布）有限公司、

福建省建阳金石氟业有限公司、扬州纽兰德新型电热电气有限公司、内蒙古永和

氟化工有限公司、北京国化新材料技术研究院有限公司共同组织起草。

2标准制定背景、目的意义

2.1产品及行业概况

八氟环丁烷（简称C318），化学式为CF，化学性能稳定、无毒无害、温室

48

效应潜能（GWP）值低、消耗臭氧指数（ODP）值为零，是一种绿色环保型全氟

环烷烃，广泛应用在半导体行业、药品行业、电力行业和深冷行业中。近年来，

八氟环丁烷被大量用作制冷剂代替禁用的氯氟烃类化合物，该产品可作为替代

CFC-12的混合制冷剂的组分之一，是对臭氧层完全无破坏的长久性替代品。此外

也常用于气体绝缘介质、溶剂、喷雾剂、发泡剂、大规模电路蚀刻剂、热泵工作

流体以及生产CF和CF单体的原料等。

2436

八氟环丁烷根据纯度可分为99.9%、99.99%、99.999%、99.9999%等级别。在

普通工业领域中，八氟环丁烷常作为制冷剂、燃料添加剂、化学原料等，对其纯

度的要求通常在99.99%以内。在电子工业领域，常作为刻蚀气体、半导体制造设

备清洗剂。随着近几年半导体集成电路技术的发展，例如：新结构、新材料、新

1

工艺对刻蚀参数的要求更精密，逻辑芯片的工艺制程节点从28nm缩小至3nm，刻

蚀工艺步骤从50步增加至100步，这一趋势导致对电子气体的纯度和质量也提出

了更高的要求，通常需要6N级（99.9999%）甚至更高的纯度以确保工艺的稳定性

和产品的性能。

本项目采用创新的分子辨识分离技术，开发高性能吸附材料，实现精馏-吸

附工艺有效耦合，这一工艺能够有效的去除原料中的O、N、CO、CO、碳氢化

222

合物、共沸或近沸的有机杂质，从而显著降低能耗，实现6N级八氟环丁烷的稳定

性生产。

目前，八氟环丁烷的主要国际生产企业包括大阳日酸、林德气体、关东电化

工业、昭和电子、默克、液化空气集团等，而国内主要生产企业有博瑞电子、中

船特气、中巨芯等。有关国内八氟环丁烷主要生产企业及产能情况见表1。随着

半导体、显示面板等电子产业的国产化进程加速，八氟环丁烷的市场规模预计将

进一步扩大。

表1国内主要生产企业及产能

现有产能规划产能

企业名称产品名称

（t/a）（t/a）

常州市嘉远化工有限公司八氟环丁烷1000

中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公

电子级八氟环丁烷270

司

福建三农新材料有限责任公司八氟环丁烷200

浙江巨化股份有限公司氟聚厂八氟环丁烷200

八氟环丁烷

上海昭和电子化学材料有限公司