TCPCIF-《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》.pdf

ICS71.080.20

CCSG17

CPCIF

中国石油和化学工业联合会团体标准

T/CPCIFXXXX—XXXX

等离子刻蚀气体八氟环丁烷

Plasmaetchinggas—Octafluorocyclobutane

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国石油和化学工业联合会发布

T/CPCIFXXXX—XXXX

等离子刻蚀气体八氟环丁烷

1范围

本文件规定了等离子刻蚀气体八氟环丁烷的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、

贮存。

本文件适用于以工业用八氟环丁烷为原料经过精馏、吸附等提纯工艺生产的等离子刻蚀气体八氟

环丁烷。

注：该产品主要用于超大规模集成电路的等离子刻蚀。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适

用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备

GB5099钢质无缝气瓶

GB/T5275.10气体分析动态体积法制备校准用混合气体第10部分：渗透法

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T9722化学试剂气相色谱法通则

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB/T15382气瓶阀通用技术要求

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4技术要求

等离子刻蚀气体八氟环丁烷的技术要求应符合表1的规定。

表1技术要求

指标

项目

Ⅰ型Ⅱ型

八氟环丁烷（CF）含量（体积分数）/10-2≥99.9999≥99.9995

48

氧＋氩（O＋Ar）含量（体积分数）/10-6≤0.1≤0.5

2

氮气（N）含量（体积分数）/10-6≤0.1≤1.0

2

一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6≤0.1≤0.5

二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6≤0.1≤0.5