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基于MEMS的微型传感器阵列研究论文

摘要：

随着微电子机械系统（MEMS）技术的飞速发展，微型传感器阵列在各个领域的应用日益广泛。本文旨在探讨基于MEMS的微型传感器阵列的研究现状、技术挑战及其发展趋势。通过对MEMS传感器的设计、制造、应用等方面的分析，为我国MEMS传感器阵列的研究与发展提供参考。

关键词：MEMS；微型传感器阵列；设计；制造；应用

一、引言

（一）MEMS技术概述

1.内容一：MEMS技术的发展背景

（1）随着科技的不断进步，人们对传感器性能的要求越来越高，传统的传感器已无法满足现代工业和军事的需求。

（2）MEMS技术的出现为传感器领域带来了革命性的变化，其体积小、

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