T_CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法.docxVIP

ICS17.180.01CCSN35

团体标准

T/CSTM00313—2021

基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

Testingmethodofopticalconstantsfor

0pticalthinfilmsbasedonspectro-photo-metricmethod

2021-10-18发布2022-01-18实施

中关村材料试验技术联盟发布

T/CSTM00313—2021

I

前言

本文件参照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T20001.4《标准编写规则第4部分：试验方法标准》给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国材料与试验团体标准委员会光电材料及产品领域委员会（CSTM/FC60）提出。

本文件由中国材料与试验团体标准委员会光电材料及产品领域委员会（CSTM/FC60）归口。

T/CSTM00313-2021

1

基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

警示——使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。

本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T26332.1-2018光学和光学仪器光学薄膜第1部分：定义

GB/T26810-2011可见光分光光度计

JJG178-2007紫外、可见、近红外分光光度计检定规程

3术语和定义

GB/T26332.1-2018界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

光谱透射比spectraltransmittance

τ(λ)

透过的与入射的辐射能通量或光通量的光谱密集度之比。

［来源：GB/T26332.1-2018，2.2.3］3.2

光谱反射比spectralreflectance

P(λ)

反射的与入射的辐射能通量或光通量的光谱密集度之比。

［来源：GB/T26332.1-2018，2.2.3］3.3

光谱吸收比spectralabsorptance

α(λ)

T/CSTM00313—2021

2

吸收的与入射的辐射能通量或光通量的光谱密集度之比。

［来源：GB/T26332.1-2018，2.2.4］3.4

光谱散射spectralscatter

在某一表面或某一介质的作用下，一束光的传播由一个方向改变到多个方向，光的空间分布发生了变化，而组成这束光的任一单色成分的频率均未发生任何变化。

［来源：GB/T26332.1-2018，2.2.5］3.5

折射率refactiveindex

n(λ)

光在真空中的传播速率与在介质中的传播速率之比。

［来源：GB/T26332.1-2018，2.2.6］3.6

消光系数extinctioncofficient

k(λ)

复折射率中虚数部分，表征薄膜材料的吸收。

4原理

4.1介质薄膜分层模型

4.1.1单层介质薄膜测试参见图1。

图1介质薄膜分层模型

4.1.2入射光经单层膜后，分为透射光I0、反射光IR和散射光IS和吸收A，其中散射光相对较小，其数值引起的光学常数的误差可以忽略，在此不考虑散射光。

4.1.3沉积的单层膜，与空气和基片的界面都存在一个过渡层，在这里称谓：散射层和过渡层，在一定条件下，散射层和过渡层的厚度效应很弱小，可忽略不计。

T/CSTM00313-2021

3

4.2非均匀性假设

薄膜材料可能是非均匀的，其折射率在厚度方向上波动，数学上可用多个折射率不同的子层替代，通常2-3层即可，见图2。膜层的基本结构为空气/散射层/非均匀子层/过渡层/基片。

图2薄膜非均匀性假设

4.3光学常数色散模型

4.3.1柯西（Cauchy）模型

柯西模型的光学常数由公式（1）和公式（2）给出。

（1）