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台阶仪（XP-1）操作规程

一﹑XP-1型台阶仪工作原理

图1.工作原理示意图

高度测量原理：

当探针Stylus在样品表面扫描时，随着样品表面的起伏变化，使探针绕着弹性轴承Pivot转动，从而使反射镜Mirror

的角度变化，最终导致经Mirror反射后打在光电探测器PhotoDetector上的光斑的位置发生变化。光斑位置的变化会

使PhotoDetector上的电压值发生变化，而电压的变化经AD转换后就能重现样品表面的起伏变化。

力的控制原理：

F：探针对样品的压力；G：弹性轴承Pivot左侧的净自重；Fc：磁耦合线圈ForceCoil对轴承右侧的力，其正比于一

个可在电脑中设定的参数ForceValue（这里用a表示）。

原理：当a增大时，Fc增大；而G是不变得，所以F随着a的增大而减小。

二﹑操作步骤

1.仪器的启动和初始化

首先打开稳压器，然后启动电脑并将台阶仪的电源打开。等10秒后双击电脑桌面上的台阶仪图，启动台阶

仪操控软件时会弹出一个是否要初始化的对话框，点击“是”，将系统初始化。

图2.XP-1型台阶仪软件主界面

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2.样品的定位

初始化完成后，点击“Z+”键，使探针抬起，确保探针到台面的高度远大于样品的高度时，将样品放到样品台上，

然后将它贴着样品台推到样品台中央。（注意：一定要保证探针高于样品。然后移动样品台，使样品待测区域大

致地在探针正下方。）

点击“Engage”键，使探针自动地缓慢下降逼近样品。当探针逼近到样品表面时，即在视频窗口中看到探针（右）

针尖及其影子（左）的针尖接触上时，探针会自动停止下降逼近。这时在视频窗口中还可以观察到样品表面的

形状特征，如图2。注意：探针在样品表面上时不能移动样品或样品台。

点击“Z+”键，使探针抬起一点，但保证探针的影子还在视频窗口中。这样才能看清楚样品表面的形状特征。

移动样品台，使探针精确地定位在需要测量的台阶的起始位置。

点击“Engage”键逼近样品，查看定位是否合适。

反复抬起探针，再逼近样品，直到探针定位在所测台阶的起始位置。

图3.左侧的红色旋钮用于前后微调，中间的红色旋钮用于左右微调

3.设置扫描参数

点击软件主界面的“Setup”键，选择“Scan”标签页，这时将看到各种扫描数，如图4。

图4.扫描参数

Speed：扫描速度。可设值分别是0.01mm/s，0.03mm/s，0.05mm/s，0.07mm/s，0.1mm/s，0.12mm/s，0.15mm/s，

0.17mm/s，0.2mm/s。一般使用的速度为0.07mm/s或0.1mm/s。

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Length：扫描长度，即探针沿图4中的扫描方向上扫描的长度。最大值30mm。最小值的条件是扫描时间(Length/Speed)

大于3秒。一般使用的值是0.4mm~1mm。

Range：扫描量程，即能扫描的台阶的最大高度。

StylusForce：扫描过程中探针对样品的作用力。软的样品，如光刻胶，应该用最小的力扫描，这样才能保证扫描过

程中对样品没有划伤。硬的样品，如硅片，可以用大的力，这样压的更稳，受外界环境影响更小。

FilterLevel：控制DataPoints。一般使DataPoints的值为1000左右。

ProfileType：扫描的线型。都用第三种线型。

4.点击“Scan”开始扫描

如是发现左下方的扫描线（红线）有较大的偏移，则“stop”，并按“Z+”抬起探针，调节机器里的黑色调节盘，哪边低

向哪边转，如图5。

图5

5.分析数据

图6数据分析界面