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超精密气浮龙门架检测平台误差分析与补偿技术

摘要

本研究采用激光干涉仪测量超精密气浮龙门架检测平台二维平面X-Y两轴的位置偏差、X-Y两轴

直线度误差、X轴偏转角误差及X-Y轴间垂直度六项误差源，并通过机器人齐次矩阵变换建立误差模

型。通过MATLAB对所测量的误差项进行曲线拟合，并代入误差模型中得到二维平面工作范围内任意

点的几何误差。在平面内选取110个点进行误差补偿实验。通过误差补偿前后对比发现该补偿方法可

一定程度上降低检测平台二维平面两轴方向的定位精度和重复定位精度。本研究提高了检测平台对芯

片位置检测的可靠性，为类似运动平台二维平面几何误差