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检测技术与自动化仪表;第8章电容式传感器;第8章电容式传感器;第8章电容式传感器;结论
物体间的电容量与其结构参数密切相关。
电容式测量
利用被测量的变化去改变电容的结构参数,从而改变物体间的电容量,通过测量电容来实现对被测量的检测。
电容式传感器
利用电容式测量原理实现的传感器称为电容式传感器。;第8章电容式传感器;8.1电容式传感器的工作原理及类型;变面积式电容传感器
变间隙式电容传感器
变介电常数式电容传感器;8.1.1变面积式电容传感器;相对变化:;相对变化:;8.1电容式传感器的工作原理及类型;变面积式电容传感器的输出特性是线性的,灵敏度是常数。这一类传感器多用于检测直线位移、角位移、尺寸等参量。;8.1.2变间隙式电容传感器;非线性误差:;;8.1电容式传感器的工作原理及类型;提高一倍;8.1电容式传感器的工作原理及类型;8.1电容式传感器的工作原理及类型;8.1电容式传感器的工作原理及类型;8.1电容式传感器的工作原理及类型;叶轮式
流速计、流量计;8.1电容式传感器的工作原理及类型;8.1.3变介电常数式电容传感器;;8.1电容式传感器的工作原理及类型;8.1电容式传感器的工作原理及类型;8.1电容式传感器的工作原理及类型;8.1电容式传感器的工作原理及类型;思考题:
下图的电容测厚仪属于什么类型?;8.2电容式传感器的等效电路;8.2电容式传感器的等效电路;串联损耗电阻RS代表引线电阻,电容器支架和极板的电阻。在几兆赫频率下工作时,这个值通常是很小的,它随着频率增高而增大。因此,只有在很高的工作频率时,才要加以考虑。;电感L是由电容器本身的电感和外部引线的电感所组成。电容器本身的电感与电容器的结构形式有关,引线电感则与引线长度有关,引线越短,电感越小。如果用电缆与电容式传感器相连接,则L中应包括电缆的电感。;寄生电容CP主要指电缆寄生电容,它与传感器电容C相并联。电容式传感器由于受结构与尺寸的限制,一般电容量都很小,几个皮法到几十皮法,属于小功率、高阻抗器件,极易受外界干扰,尤其是电缆寄生电容。寄生电容比电容传感器的电容大几倍??几十倍,且具有随机性,又与传感器电容相并联,严重影响传感器的输出特性,甚至会淹没传感器的有用信号,使传感器无法使用。因此消灭寄生电容的影响,是电容式传感器实用化的关键。;设电容传感器的等效电容为Ceq,在忽略RP,RS的情况下
(未接电缆,先不考虑寄生电容);8.3电容式传感器的信号转换电路;图8-6交流电桥转换电路;以图8-3所示的变间隙式差动电容传感器为例进行说明。当动片位于两定片之间的中间位置时,电桥平衡,开路输出电压为0。;8.3.2运算放大器式转换电路;8.3.3C/f转换电路;8.3.4脉冲宽度调制转换电路;8.4电容式传感器的应用;8.4.1荷重测量;;硅微加工加速度传感器;硅微加工加速度传感器;8.4.3料位指示仪;8.4.4人体接近探测
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