《检测技术与自动化仪表》第6章压电传感器.pptx

检测技术与自动化仪表;第六章压电传感器;概述

;压电陶瓷位移器;6.1压电效应;???压电效应是可逆的

在介质极化的方向施加电场时，电介质会产生形变，将电能转化成机械能，这种现象称“逆压电效应”。

所以压电元件可以将机械能——转化成电能

也可以将电能——转化成机械能。?????;自然界许多晶体具有压电效应，但十分微弱，研究发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅是优能的压电材料。

压电材料可以分为两类：压电晶体、压电陶瓷。????;天然形成的石英晶体外形;天然形成的石英晶体外形（续）;石英晶体切片及封装;(a)晶体外形；(b)切割方向；(c)晶片;压电元件受力后,表面电荷与外力成正比关系:

d为压电系数;石英晶体压电模型;石英晶体的上述特征与内部分子结构有关：

当晶体不受力时F=0，正负离子分布在六边形顶角，电偶极矩，晶体呈中性；

当晶体受沿X轴方向的应力时，X方向压缩形变，电偶极矩在X轴的正方向出现正电荷；

当晶体受沿Y轴方向的应力时，Y方向压缩形变，电偶极矩在X轴的正方向出现负电荷；

;压电效应演示;石英晶体振荡器（晶振）;压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系压电陶瓷（如BaTiO3等）。;?压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，材料的内部晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向。

无电场作用时，电畴在晶体中分布杂乱分布，极化相互抵消，呈中性。;施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向外电场方向排列。外电场强度达到饱和程度时，所有的电畴与外电场一致。

外电场去掉后，电畴极化方向基本不变，剩余极化强度很大。所以，压电陶瓷极化后才具有压电特性，未极化时是非压电体。;晶体极化后，沿极化方向（垂直极化平面）作用力时，引起剩余极化强度变化，在极化面上产生电荷，电荷量的大小与外力成正比关系：;压电陶瓷外形;无铅压电陶瓷及其换能器外形

（上海硅酸盐研究所研制）;典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯（PVF2或PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、改性聚氯乙烯（PVC）等。它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频率响应范围较宽，测量动态范围可达80dB。;

聚偏氟乙烯压电材料;高分子压电薄膜及拉制;高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆;可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板;压电式脚踏报警器;高分子压电薄膜制作的压电喇叭

（逆压电效应）;6.3压电元件结构形式;在上述两种接法中，并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大，适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。而串联接法输出电压大，本身电容小，适宜用于以电压作输出信号，并且测量电路输入阻抗很高的场合。;6.4.1压电传感器等效电路;压电元件电荷Q的开路电压U可等效为电源与电容串联或等效为一个电荷源Q和电容Ca并联。;压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接，因此还需考虑连接电缆的等效电容Cc，放大器的输入电阻Ri,输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra。这样，压电传感器在测量系统中的实际等效电路，如图所示。;压电传感器本身的内阻抗很高，而输出能量较小，因此它的测量电路通常需要接入一个高输入阻抗前置放大器。其作用为：一是把它的高输出阻抗变换为低输出阻抗；二是放大传感器输出的微弱信号。压电传感器的输出可以是电压信号，也可以是电荷信号，因此前置放大器也有两种形式：电压放大器和电荷放大器。;1.电压放大器（阻抗变换器）

图（a）、(b）是电压放大器电路原理图及其等效电路。;在理想情况下，传感器的Ra电阻值与前置放大器输入电阻Ri都为无限大，即ω(Ca+Cc+Ci)R1，理想情况下输入电压幅值Uim为;这表明压电传感器有很好的高频响应，但是，当作用于压电元件的力为静态力（ω=0）时，前置放大器的输出电压等于零，因为电荷会通过放大器输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，所以压电传感器不能用于静态力的测量。

当ω(Ca+Cc+Ci)R1时，放大器输入电压Uim如前式所示，式中Cc为连接电缆电容，当电缆长度改变时，Cc也将改变，因而Uim也随之