《检测技术与自动化仪表》第5章电阻式传感器.pptx

检测技术与自动化仪表;第5章电阻式传感器;5.1电位器式电阻传感器;5.1电位器式电阻传感器;分类：

按其结构形式不同，可分为线绕式、薄膜式、光电式等，在线绕电位器中又有单圈式和多圈式两种；按其特性曲线不同，则可分为线性电位器和非线性(函数)电位器。

电位器式传感器的优点

结构简单、尺寸小、重量轻、价格低廉且性能稳定；

受环境因素(如温度、湿度、电磁场干扰等)影响小；

可以实现输出—输入间任意函数关系；;1线性线绕电位器;空载特性

;灵敏度;阶梯特性和阶梯误差

线性线绕式电位器的总匝数为W，总电阻为R时，其阶梯误差可表示为：;分辨率

2非线性电位器

非线性电位器的形式

;空载特性

空载特性是一条曲线，其灵敏度与电刷位置有关，是变量，可写为

;3电位器的负载特性及负载误差

负载特性

设电阻的相对变化,电位器的负载系数，电刷的相对行程，电压的相对输出;理想空载特性为

电位器的负载误差

相对负载误差;4电位器的结构与材料

（1）电阻丝:康铜丝、铂铱合金及卡玛丝等

（2）电刷:常用银、铂铱、铂铑等金属

（3）骨架:常用材料为陶瓷、酚醛树脂、夹布胶木等绝缘材料，骨架的结构形式很多,常用矩形。;5.2应变片式电阻传感器;1应变片的结构与工作原理

结构;工作原理

;有;有;5.2应变片式电阻传感器;半导体应变计;（2）测量原理

应变式传感器是将应变片粘贴于弹性体表面或者直接将应变片粘贴于被测试件上。弹性体或试件的变形通过基底和粘结剂传递给敏感栅，其电阻值发生相应的变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，即可测量应变。若通过弹性体或试件把位移、力、力矩、加速度、压力等物理量转换成应变，则可测量上述各量，而做成各种应变式传感器。;2应变片的种类、材料;电阻应变片的种类

常用有丝式、箔式、半导体式和薄膜式应变片等。

;

丝式应变片：金属电阻应变片的典型结构。将一根高电阻率金属丝（φ0.025mm左右）绕成栅形，粘贴在绝缘的基片和覆盖层之间并引出导线构成。

;丝式应变片制作简单、性能稳定、成本低、易粘贴。分为丝绕式和短接式两种。

;箔式应变片：利用照相制版或光刻技术，将厚约为0.003～0.01mm的金属箔片制成敏感栅。

;箔式应变片优点:

可制成多种复杂形状、尺寸准确的敏感栅，其栅长最小可做到0.2mm，以适应不同的测量要求；

横向效应小；

散热条件好，允许电流大，提高了输出灵敏度；

蠕变和机械滞后小，疲劳寿命长；

生产效率高，便于实现自动化生产。金属箔的材料常用康铜和镍铬合金等。;半导体应变片：分为体型和扩散型两种。

;半导体应变片的特性

半导体应变片的优点是尺寸、横向效应及机械滞后都很小；灵敏系数大，因而输出也大；可不需放大器连接，使得测量系统简化。缺点是电阻值和灵敏系数的温度稳定性差；测量较大应变时非线性严重。;薄膜应变片：采用真空沉积或高频溅射等方法，在绝缘基片上形成厚度在0.1mm以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅——厚度大约为箔式应变片的十分之一以下。

该应变片灵敏度高，易于实现工业化生产，特别是它可以直接制作在弹性敏感元件上，形成测量元件或传感器。目前使用中的主要问题是尚难控制其电阻对温度和时间的变化关系。;3电阻应变片的性能参数

电阻值：应变片原始阻值——标准化，120Ω常用

几何参数：敏感栅基长l和宽度b，制造厂常用b×l表示。

灵敏系数S：表示应变片变换性能的重要参数。

绝缘电阻：应变片与试件间的阻值，越大越好。一般大于1010Ω。

其它性能参数（允许电流、工作温度、应变极限、滞后、蠕变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等）。;4电阻应变片的选择、粘贴技术

;3）试件表面处理：贴片处用细纱纸打磨干净，用酒精棉球反复擦洗贴处，直到棉球无黑迹为止。

4）应变片粘贴：在应变片基底上挤一小滴502胶水，轻轻涂抹均匀，立即放在应变贴片位置。

5）焊线：用电烙铁将应变片的引线焊接到导引线上。

6）用兆欧表检查应变片与试件之间的绝缘电阻，应大于1000M欧。

7）应变片保护：用704硅橡胶覆于应变片上，防止受潮。;5测量电路

电阻应变片将应变转换为电阻的变化量，测量电路将电阻的变化再转换为电压或电流信号，最终实现被测量的测量。

1）直流电桥

;输出电压;等臂电桥时;全桥工作情况;电桥工作的一般形式;2）交流电桥

开路输出电压

;6温度误差及补偿

温度误差——附加应变