2025年半导体制造超精密加工技术标准制定与实施报告.docx

2025年半导体制造超精密加工技术标准制定与实施报告

一、项目概述

1.1项目背景

1.1.1随着全球信息化时代的到来

1.1.2当前，我国半导体制造超精密加工技术尚处于起步阶段

1.1.3本项目立足于我国半导体行业的现实需求

1.2项目意义

1.2.1提高我国半导体行业整体技术水平

1.2.2推动行业技术创新

1.2.3保障我国半导体产业安全

1.2.4促进产业链协同发展

1.3项目目标

1.3.1制定一套科学、合理、具有前瞻性的半导体制造超精密加工技术标准

1.3.2推动技术标准的实施，提高我国半导体行业整体技术水平

1.3.3培育一批具有国际竞争力的半导体企业，