《碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规范》.pdfVIP

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CASME

团体标准

T/CASMEXXXX—XXXX

碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规

范

Tantalumcarbidecoatingproducttechnicalrequirements

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国中小商业企业协会  发布

T/CASMEXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4技术要求2

5试验方法3

6检验规则4

7质量检验报告5

8标志、包装、运输和贮存5

I

T/CASMEXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由××××提出。

本文件由中国中小商业企业协会归口。

本文件起草单位：×××、×××、×××。

本文件主要起草人：×××、×××、×××。

II

T/CASMEXXXX—XXXX

碳化硅晶体长晶用碳化钽涂层产品技术规范

1范围

本文件规定了碳化硅晶体长晶用碳化钽（TaC）涂层产品的技术要求、试验方法、检验规则、质量

检验报告及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于碳化硅晶体生长用途的碳化钽涂层产品，其制备工艺包含物理气相沉积或化学气相沉

积、等离子喷涂等方法。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T16534精细陶瓷室温硬度试验方法

GB/T10610产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法

GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法

GB/T31563金属覆盖层厚度测量扫描电镜法

GB/T37246精细陶瓷抗热震性能试验方法

ISO/TS15338：2025表面化学分析辉光放电质谱操作程序（Surfacechemicalanalysis—

Glowdischargemassspectrometry—Operatingprocedures）