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先进电子材料分析技术应用
目录
内容描述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3
1.2电子材料发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.3分析技术的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
先进电子材料的分类与特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
2.1半导体材料及其性能．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
2.2功能性薄膜材料研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
2.3复合与纳米结构材料特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
2.4磁性及光电材料概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
常用电子材料分析技术原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
3.1微区成分分析技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
3.1.1扫描电子显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
3.1.2原子探针显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
3.1.3X射线光电子能谱．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
3.2微结构与形貌表征方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21
3.2.1透射电子显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
3.2.2衍射技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
3.2.3原子力显微镜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27
3.3物理性质测量技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
3.3.1电阻率与电导率测试．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30
3.3.2热学性能分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
3.3.3磁性特性检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33
3.4光学及表面特性分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
3.4.1光谱分析技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
3.4.2表面形貌与粗糙度测量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
关键分析技术在先进电子材料研究中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．38
4.1新型半导体器件材料的表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
4.2薄膜沉积与改性过程监控．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
4.3纳米结构电子特性的解析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
4.4材料失效分析与质量检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
数据处理与结果解读．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
5.1实验数据采集与处理方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
5.2信号分析与图像处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
5.3结果的定量分析与模型构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
挑战与前沿进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
6.1分析技术面临的瓶颈问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
6.2新兴表征技术的探索．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
6.3多尺度分析与原位表征的发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
结论与展望．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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