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ICS31.080.01
CCSL41
团体标准
T/QDASxxx—2021
二极管扩散片硼扩散液态源配方
Formulaofborondiffusionliquidsourcefordiode
diffuser
(征求意见稿)
2021-xx-xx发布2021-xx-xx实施
青岛市标准化协会发布
T/QDASxxx—2021
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起
草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由青岛金汇源电子有限公司提出。
本文件由青岛市标准化协会归口。
本文件起草单位:XXX。
本文件主要起草人:XXX。
II
T/QDASxxx—2021
二极管扩散片硼扩散液态源配方
1范围
本文件规定了二极管扩散片硼扩散液态源配方的术语和定义、试剂和材料、仪器和设备、三氧化二
硼/乙二醇乙醚溶液配制、硝酸铝/乙二醇乙醚溶液配制和硼扩散液态源配制等内容。
本文件适用于二极管扩散片硼扩散液态源的配制。
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
二极管扩散片diodediffusers
二极管产品的半成品,是单晶硅经过扩散工艺后就形成了二极管扩散片。其经过后续再加工形成二
极管芯片,经过封装形成二极管成品。
注:本标准中的二极管指的是整流二极管。
4试剂和材料
除另有说明外,所用试剂均为分析纯或电子级。
a)乙二醇乙醚(C4HO);
4102
b)三氧化二硼(BO);
23
c)硝酸铝(Al(NO));
33
d)氧化铝(AlO)。
23
5仪器和设备
a)电子秤:感量0.01g;
b)量筒(250mL);
c)搅拌器;
d)滤纸;
e)磨口瓶(400mL和800mL)。
6三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液配制
1
T/QDASxxx—2021
6.1配制比例
三氧化二硼:乙二醇乙醚=120g:400mL。
6.2配制过程
6.2.1用800mL磨口瓶垫滤纸放在搅拌器上,倒入乙二醇乙醚后开启搅拌器,可见瓶中心出现旋涡,
如图1中a)所示。
6.2.2称三氧化二硼时电子秤应显示为0,如图1中b)所示。将滤纸放上后,进行“去皮”,称出配
比所需的三氧化二硼后,贴磨口瓶边缘缓慢倒入,如图1中c)所示。填写记录表,记录配制时间和人
员,见附录A。
注:电子称误差±0.01以内,电子秤平衡珠应在正中心。
6.2.3磨口瓶盖半盖,如图1中d)所示。待瓶身不烫手后盖上瓶盖,搅拌6小时后关闭搅拌器,将
三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液密封,如图1中e)所示,并记录搅拌时间。密封后,保质期为30天,使
用前应用滤纸过滤。
注:三氧化二硼/乙二醇乙醚溶液使用前应沉淀6小时以上,方可使用。
a)
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