电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范.pdfVIP

ICS81.040.30

CCSL90

13

河北省地方标准

DB13/T5631—2022

电子专用材料单晶硅生长用

石英坩埚生产技术规范

2022-12-27发布2023-01-27实施

河北省市场监督管理局发布

DB13/T5631—2022

电子专用材料单晶硅生长用

石英坩埚生产技术规范

1范围

本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、

工艺过程、环境要求和管理要求。

本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用

文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）

适用于本文件。

GB50034建筑照明设计标准

GB50073洁净厂房设计规范

GBZ2.1工作场所有害因素职业接触限值（第一部分化学有害因素）

GBZ188职业健康监护技术规范

GBZ/T189.8工作场所物理因素测量第8部分：噪声

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

电弧熔制arcfusion

利用高温电弧熔融石英砂原料的过程。

涂层coating

在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。

4从业人员

职业健康

应按照GBZ188的要求，对从业人员进行岗前、岗中、离岗职业健康体检，同时配备符合要求的

个体防护用品，保证从业人员符合职业健康安全管理要求。

岗位技能

从业人员应通过三级安全教育、岗位技能培训，经考核合格后方可上岗。

5设备

熔制设备

应具有电极开闭、升降、旋转、冷却、弧变、除尘等装置。

外表面处理设备

应具有喷砂、研磨等功能。

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DB13/T5631—2022

切边倒棱设备

应具有对中、切制、内倒角、外倒角等功能。

纯水清洗设备

5.4.1手动纯水清洗设备

应具有纯水冲洗等装置。

5.4.2自动纯水清洗设备

应具有产品自动化传输、纯水自动冲洗等装置。

涂层设备

应具有加热、旋转、喷雾、冷却专用涂层等装置。

6原辅材料

石英砂

石英砂杂质元素含量应符合表1的规定。

表1石英砂杂质元素含量单位为微克

元素名称

位

铝钙镁钡铬铜铁镍锰锂钠钾锆钛锗磷硼

置

ALCaMgBaCrCuFeNiMnLiNaKZrTiGePB

内

层7.70.80.05---0.2--0.10.20.1-1.40.7-0.1

外

16.01.20.10.1