平面亚微米导电率精确测量及在MEMS器件无损检测中的应用探究.docx

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2025-05-06 发布于上海
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平面亚微米导电率精确测量及在MEMS器件无损检测中的应用探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）器件作为一种集微型传感器、微型执行器及信号处理器于一体的微型器件或微型系统，已经成为众多领域创新发展的关键支撑。从智能手机的加速度传感器实现屏幕自动旋转、计步功能，到汽车安全系统中的MEMS压力传感器和加速度传感器用于安全气囊和防抱死制动系统的精准触发，再到医疗领域中MEMS生物传感器实现快速、准确的疾病诊断，如血糖监测仪中的MEMS传感器能够实时测量血糖水平，为糖尿病患者