1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 电子工程/通信技术
  5. 无线电电子学/电信技术

微结构Gd靶激光等离子体极紫外光源特性研究.pdf

微结构Gd靶激光等离子体极紫外光源特性研究.pdf

    1. 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
    2. 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    3. 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    摘要

    集成电路芯片制造是信息技术及产业发展的关键技术。在集成电路芯片的精密制

    造过程中，极紫外光刻机扮演着举足轻重的角色。极紫外光源作为光刻机的核心部件，

    其性能是光刻系统效率和精度的决定因素。随着输出波长13.5nm极紫外光刻机的商

    业化量产，为了进一步提升光刻精度，6.7nm激光钆（Gd）等离子体被认为是下一代

    极紫外光刻光源的潜力候选。然而，提高Gd靶激光等离子体光源的输出功率仍是当

    前面临的挑战。基于此，本文利用飞秒激光加工技术制备微结构Gd靶，开展微结构

    靶极

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    dongbuzhihui + 关注
    实名认证
    内容提供者

    该用户很懒，什么也没介绍

    咨询Ta 进入空间

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >